In der Fertigungshallen ist eine Temperaturabweichung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists ausreichend, um die kritischen Abmessungen um mehrere Nanometer zu verändern. Ein einziger fehlerhafter Produktlot bedeutet, dass die gesamte Produktion wiederholt werden muss. Unsere internationalen Industriehitzer wurden unter Berücksichtigung dieser Realität entwickelt: Sie garantieren eine Temperaturregulierung, die eine Homogenität auf Wafer-Ebene bei ±0,1 °C gewährleistet – Tag für Tag, egal ob es sich um den weichen oder harten Trocknungsprozess handelt oder um den Trocknungsprozess nach der Belichtung.
Was technisch wichtig ist:
Der Kern eines solchen Heizers ist ein Heizer, der für Umgebungen in Reinräumen geeignet ist und speziell für die Anforderungen der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Halogen- und NIR-Heizer leiten die Wärme direkt in den Photoresist sowie das Substrat ab. Dadurch wird eine schnelle Erwärmung erreicht, ohne dass die Reproduzierbarkeit beeinträchtigt wird. Die Temperatur bleibt über die gesamte Fläche des Wafers konstant, sodass die Kontrolle der Linienbreite innerhalb der Spezifikationen bleibt.
Eine Null-Partikel-Produktion wird durch Materialien mit geringer Gasemission sowie durch eine dichte Bauweise erreicht – diese Geräte sind für Umgebungen der Klassen 1–100 geeignet. Sie können 24/7 ohne unplanmäßige Stillstände betrieben werden. Zudem sind die Wartungsintervalle länger, was wiederum weniger Ersatzteile und weniger Wartungsarbeiten bedeutet.
Warum das in der Lithografie funktioniert:
In den Lithografieanlagen führt eine konstante Trocknungstemperatur dazu, dass weniger Produkte zurückgesendet werden müssen und die Erfolgsrate bei der ersten Bearbeitung steigt. Der Energieverbrauch sinkt, da der Heizer die gewünschte Temperatur schnell erreicht und behält, ohne dabei über die Grenzwerte hinauszugehen. Dadurch sinken die Kosten pro Wafer.
Der Heizer lässt sich problemlos in bestehende Anlagen integrieren, sodass kein zusätzliches Integrationsrisiko entsteht. Da dieselbe Heizplattform für mehrere Trocknungsstationen genutzt werden kann, bleibt die Strategie bezüglich der Ersatzteile einfach.
Was man beachten sollte:
Es ist nicht möglich, den Heizer einfach der Geometrie der Kammer sowie dem Luftstrom anzupassen – selbst kleine Abweichungen können zu Problemen führen. Planen Sie daher eine kurze Testphase, um die Parameter des PID-Reglers sowie die Abschirmung entsprechend der jeweiligen Last und des Luftstroms anzupassen.
Stellen Sie außerdem sicher, dass die Ausgangsspannung sowie die Anschlussarten bereits im Voraus festgelegt werden. Fehler in diesen Bereichen können zu zusätzlichen Arbeiten führen, die nicht vorher kalkuliert wurden.