ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেজিস্ট বেক করার প্রক্রিয়াটি কোনো “বিরতি” নয়; বরং এটা একটি কঠোর শর্ত। যদি হট প্লেটটি নড়ে যায়, তাহলে CD কন্ট্রোলও নড়ে যায়। যদি সমানতা বজায় না থাকে, তাহলে ওয়েফারের গুণমান কমে যায়। MEMS-এ তাপীয় নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ; তাপমাত্রার ত্রুটি দীর্ঘসময় ধরে ছোট থাকে না।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা এই ইনফ্রারেড হিটারটি তৈরি করেছি যাতে MEMS-এর তাপীয় নিয়ন্ত্রণ সঠিকভাবে হয়। দ্রুত প্রতিক্রিয়ার জন্য শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যবহৃত হয়েছে; স্থিতিশীল আউটপুটের জন্য কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন উপাদানগুলো ব্যবহৃত হয়েছে। ওয়েফারের গুণমান বজায় রাখার জন্য ±0.1°C এর মধ্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয়। হট জোনটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে রাখা হয়; কারণ এখানে কণা উৎপন্ন না হওয়া এবং গ্যাস নির্গমন না হওয়া খুবই গুরুত্বপূর্ণ। প্রতিটি বেক প্রক্রিয়ায় একই ফলাফল পাওয়া খুবই গুরুত্বপূর্ণ।
কেন এটা MEMS ওয়ার্কফ্লোরের জন্য উপযুক্ত?
MEMS-এ সॉফ্ট বেক ও হার্ড বেক দুটোই খুব কম সময়ে সম্পন্ন হয়। এই হিটারটি প্রতিবারই একই তাপমাত্রা সরবরাহ করে; ফলে লাইন-অফ-সাইট ও নন-লাইন-অফ-সাইট ফিচারগুলো সঠিকভাবে বিকশিত হয়। দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধির ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়; আর ওয়েফারের গুণমানও বজায় থাকে।
শক্তি ব্যবহার কমে যায়, কারণ আমরা শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তু অঞ্চলটিকেই উত্তপ্ত করি, পুরো ফ্রেমটিকে নয়। নির্ভরযোগ্যতা বজায় থাকে; কারণ কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার ঘটনা ঘটে না। রক্ষণাবেক্ষণও সহজ হয়—কোনো জটিলতা থাকে না।
কী বিষয়গুলো বিবেচনা করা দরকার?
ইনস্টলেশনের সময় টুলের ইন্টারফেস ও ভোল্টেজ/কুলিং ব্যবস্থাগুলো বিবেচনা করা দরকার। সাধারণত 240V ভোল্টেজ ও ডেডিকেটেড এয়ার/ওয়াটার কুলিং সিস্টেম প্রয়োজন। হিটারটি স্ট্যান্ডার্ড লিথোগ্রাফি ও ট্র্যাক সেটআপগুলোর সাথে সংযুক্ত হয়; কিন্তু অপটিক্যাল পথটি পরিষ্কার রাখা দরকার। কোনো বাধা থাকলে তাপীয় প্যাটার্ন পরিবর্তিত হয়ে যায়।
আগেভাগেই ক্লিনরুমের ব্যবস্থা ঠিক করুন। সীমিত জায়গার কারণে সঠিক স্পেস ও সার্ভিস অ্যাক্সেস প্রয়োজন। এটা ঠিক করলেই প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে চলবে।