节能型晶圆加热器

当环境充满易燃化学气体时，如何为芯片加热？ 说实话，把加热元件放置在充满易燃化学气体的环境中，实在是一件令人忧心的事情。哪怕只有一个微小的火花或某个部件过热，都可能引发灾难性的后果。 因此，我们采用了特殊的IR灯设计来应对这个问题。 防止有害物质进入 最需要担心的是电气接触点。如果易燃气体渗入其中...