可持续的制造解决方案

在半导体制造厂中减少碳排放：为什么红外加热如此有效 如果我们真的想让半导体制造厂实现碳中和，那就必须重视如何处理热量问题。 那些旧式的对流式烤箱和电阻式加热器其实非常浪费能源——它们把一半的能量用来加热空气和炉腔壁面，而实际上这些能量并没有用于加热晶圆本身。这就好比试图通过加热整个厨房来让一颗豌豆...