在半导体制造厂中减少碳排放：为什么红外加热如此有效
如果我们真的想让半导体制造厂实现碳中和，那就必须重视如何处理热量问题。
那些旧式的对流式烤箱和电阻式加热器其实非常浪费能源——它们把一半的能量用来加热空气和炉腔壁面，而实际上这些能量并没有用于加热晶圆本身。这就好比试图通过加热整个厨房来让一颗豌豆变热一样，不仅浪费了大量能源，还会增加碳足迹。
而红外线加热器则有所不同。它不会加热整个空间，而是直接作用于晶圆上。**关键在于能量被用在何处。**红外线系统发出的电磁辐射只有在接触到物体表面时才会转化为热量。这样一来，就不必再浪费大量能源了。此外，我们还可以通过调整波长来控制热量的渗透深度，从而加快加热速度。在制造业中，更快的加热速度意味着每块晶圆所需的电能更少。就这么简单。
硬件方面的要求
要在绿色工厂中实现这一目标，就需要高功率密度的加热装置。我们使用石英卤素管，因为它们能立刻产生热量。只要打开开关，热量就会立即出现；关掉开关后，热量又会立刻消失。这样就不会有“闲置的热量”浪费能源了。
不过，问题在于：当把这么大的功率集中在一个小空间里时，温度会变得非常高。如果安装的是高密度红外线加热器，那么冷却系统就显得非常重要。如果冷却系统不够完善，就可能会损坏周围的电子设备。
这对地球的好处
用红外线加热器替代燃气炉或传统的电加热器，可以大大降低每单位产品的能耗。在晶圆固化、干燥和退火过程中，这种效果最为显著。最棒的是，这种替换方式几乎无需对生产线进行大规模改造。通过消除不必要的热量积累，整个工厂的能耗就会降低。这样，就能实现碳减排的目标，同时保持生产效率不变。