فیبرک فلور پر، فوٹو ریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران حرارتی تغیرات، پروڈکشن کے عمل میں رکاوٹ بنتے ہیں۔ اگر نرم گرم کرنے کا عمل یکساں نہ ہو، تو وائر لائنوں کی لکیریں بدلنے لگتی ہیں۔ اگر سخت گرم کرنے کا عمل بھی یکساں نہ ہو، تو اس سے گندگی اور باقیات پیدا ہو جاتی ہیں۔ ہم نے ایسا سیرامک انفراریڈ ہیٹر پینل تیار کیا ہے جو اس قسم کے تغیرات کو ختم کرتا ہے، اور مطلوبہ درجہ حرارت کو برقرار رکھتا ہے، بغیر کسی زیادتی یا تاخیر کے۔
اس ہیٹر کی خصوصیات
یہ سیرامک سے بنے شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر کے ذریعے تابکاری کے ذریعے گرمی پیدا کرتا ہے، نہ کہ ہوا کے ذریعے۔ مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچنے میں 2 سیکنڈ سے بھی کم وقت لگتا ہے، اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C ہے۔ بیچ سے بیچ تک درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.5°C رہتی ہے، لہذا حرارتی عمل یکساں رہتا ہے۔ اس کی سطح ایسی ہے کہ اس سے کوئی ذرہ باہر نہیں نکلتا، جس سے کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات پورے ہوتے ہیں۔ یہ مواد شدید صفائی کے عملوں کا مقابلہ کر سکتا ہے، بغیر کسی نقصان کے۔ برقی لحاظ سے، یہ سیمی کنڈکٹر آلات کے معیارات پر پورا اترتا ہے – کم EMI اور مضبوط انسولیشن۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت
لیتھوگرافی اور فوٹو ریزسٹ پروسیسنگ میں، اس درستگی کی وجہ سے کریٹیکل ڈائمینشنز کا بہتر کنٹرول ہوتا ہے، اور دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ نرم گرم کرنے کا عمل یکساں رہتا ہے، لہذا کوئی سولوونٹ باقی نہیں رہتا۔ سخت گرم کرنے کا عمل چپس کی چپکنے کی صلاحیت کو بہتر بناتا ہے، جس سے کناروں پر گندگی اور باقیات کم ہو جاتی ہیں۔ تیز ردِعمل کی وجہ سے، گرم کرنے کے درمیانی وقت کم ہو جاتا ہے، لہذا پروڈکشن کی رفتار بڑھ جاتی ہے، بغیر بجلی کی زیادہ کھپت کے۔ یہ پینل 24/7 کام کر سکتا ہے، اور اس کی دیکھ بھال بہت کم ہے – کوئی فلامنٹ جلنے کی بات نہیں، کوئی ہاٹ اسپاٹ نہیں، لہذا بے منصوبہ بند بندش کا خطرہ نہیں ہے۔ برآمد شدہ ہیٹرز کے مقابلے میں، یہ موجودہ آلات میں بآسانی استعمال کیا جا سکتا ہے، جس سے پروسیس کی کارکردگی برقرار رہتی ہے، اور سپیئر پارٹس کی لاگت کم ہو جاتی ہے۔
نصب کرنے سے متعلق معلومات
نصب کرنے کے لئے، آلے کے مکینیکل ڈھانچے اور کنیکٹر کی قسم کو مدِنظر رکھنا ضروری ہے۔ الائنمنٹ کی حدود کو یقینی بنانا ضروری ہے؛ یہی چیز یکسانیت کو برقرار رکھنے میں مدد کرتی ہے۔ یہ پینل مستحکم وولٹیج کے ساتھ بہترین کارکردگی دکھاتا ہے – وولٹیج میں بڑی تبدیلیاں مطلوبہ درجہ حرارت کی درستگی کو متاثر کر سکتی ہیں، لہذا مقامی وولٹیج کنڈیشنر استعمال کرنا بہتر ہے۔ مختصر ٹیسٹ کے ذریعے ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی تفصیلات جانی جا سکتی ہیں، اور پروسیس کو بہتر بنایا جا سکتا ہے۔