فیبرک فلور پر، فوٹو ریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران 0.5°C کا فرق بھی کریٹیکل ڈائمینشنز کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کرنے کے لئے کافی ہے۔ اگر کوئی پروڈکشن بیچ خراب ہو جائے، تو پوری پروڈکشن عمل کو رد کرنا پڑتا ہے۔ ہم نے اپنی بین الاقوامی صنعتی ہیٹر سسٹمز کو اسی حقیقت کو مدِ نظر رکھتے ہوئے تیار کیا ہے؛ یعنی ایسا تھرمل کنٹرول جو ہر روز، سافٹ بیک، ہارڈ بیک، اور پوسٹ-ایکسپوزر بیک کے دوران ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھتا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
اس سسٹم کا بنیادی حصہ، سیمی کنڈکٹرز کے لئے موزوں، کلین روم کے ماحول میں استعمال ہونے والا ہیٹر ہے۔ ہیلوجن اور NIR طرز کے ہیٹرز، حرارت کو براہِ راست فوٹو ریزسٹ اور سبسٹریٹ میں منتقل کرتے ہیں؛ اس طرح عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور پروڈکشن کی باقاعدگی برقرار رہتی ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ہموار رہتا ہے، جس سے لائن کی چوڑائی کو کنٹرول کرنا آسان ہو جاتا ہے۔
کم گیس خارج ہونے والے مواد اور سیل کی ساخت کی وجہ سے، کوئی ذرہ بھی پیدا نہیں ہوتا؛ یہ سسٹم کلاس 1–100 کے ماحول میں استعمال کے لئے بنایا گیا ہے۔ یہ یونٹس 24/7 کام کرتے ہیں، اور ان کی دیکھ بھال کے وقفے بھی زیادہ ہیں؛ اس طرح ضروری سپیئر پارٹس کی تعداد کم ہو جاتی ہے، اور دیکھ بھال کے اخراجات بھی کم ہو جاتے ہیں۔
لیتھوگرافی میں اس سسٹم کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی میں، درجہ حرارت کی استحکام سے پروڈکشن کے دوران دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور پہلی بار میں ہی مطلوبہ نتائج حاصل ہوتے ہیں۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ ہیٹر جلدی ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اور اسے برقرار رکھتا ہے؛ اس طرح ہر ویفر کی پروڈکشن پر لگنے والا خرچ کم ہو جاتا ہے۔
یہ سسٹم موجودہ ٹریکس اور کوٹرز کے ساتھ بآسانی استعمال کیا جا سکتا ہے؛ اس طرح اضافی خطرات سے بچا جا سکتا ہے۔ اور چونکہ ایک ہی تھرمل پلیٹ فارم کو مختلف بیک اسٹیشنز میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، اس لئے سپیئر پارٹس کی منصوبہ بندی بھی آسان ہو جاتی ہے۔
کن چیزوں پر توجہ دینی چاہیے؟
ہیٹر کو چیمبر کی ساخت اور ہوا کے بہاؤ کے مطابق ہی استعمال کرنا ضروری ہے؛ چھوٹی سی غلطی بھی نتائج پر اثر ڈال سکتی ہے۔ اپنے لوڈ اور کلین روم کے ہوا کے بہاؤ کے مطابق PID اور شیلڈنگ کو درست کرنے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹ رن کرنا ضروری ہے۔
اور یقین دہانی کر لیں کہ آؤٹ پٹ وولٹیج اور کنیکٹر کی قسمیں آپ کے آلات کے مطابق ہی ہوں۔ اگر یہ غلط ہو جائے، تو اس سے پروڈکشن میں پریشانیاں پیدا ہو سکتی ہیں۔