Як правильно сушити пластини MEMS за допомогою інфрачервоного випромінювання
Якщо ви будуєте сучасний завод з виробництва чіпів, ви знаєте основні принципи: все має керуватися даними. Але коли йдеться про сушіння пластин сенсорів MEMS, як апаратне обладнання, так і програмне забезпечення мають однакову важливість. Саме тому ми відмовилися від старомодних конвективних печей та перейшли на системи короткохвильового інфрачервоного випромінювання.
Це просто швидше. Крім того, це запобігає потраплянню хімікатів на пластини та їх пошкодженню.
Керування теплом
Проблема при роботі з пластинами MEMS полягає у швидкому видаленні вологи без пошкодження самої пластини. Не можна просто нагрівати її, сподіваючись на кращий результат.
Ми використовуємо кварцові лампи високої потужності, щоб тепло доходило саме туди, де це необхідно. Змінюючи напругу та частоту подачі енергії, можна контролювати інтенсивність тепла. Незалежно від того, чи йдеться про тоншу пластину чи складну геометрію сенсора, система автоматично адаптується.
Оскільки час реакції майже миттєвий, ваш ПЛК може регулювати інтенсивність тепла на основі реальних даних. Саме так і повинен функціонувати сучасний цифровий завод.
Деталі апаратного забезпечення
Ми використовуємо кварцові елементи високої чистоти для нагрівачів. Чому? Тому що останнє, чого ви хочете, – це випаровування речовин прямо біля пластин.
Ми розташовуємо ці лампи в спеціальних конструкціях, щоб тепло рівномірно доходило до кожної частини пластини. Також ми використовуємо спеціалізовані з’єднувачі. Повірте, ви не хочете, щоб елементи обладнання тряслися під час роботи машин.
Але є одна проблема: висока інтенсивність інфрачервоного випромінювання призводить до значного нагрівання навколишніх елементів. Пластини сушаться швидко, але сам корпус обладнання сильно нагрівається. Вам потрібно ретельно планувати використання систем охолодження та вентиляції, інакше ваше електронне обладнання пошкодиться.
Робота в „режимі „розумного“ обладнання“
У цифровому заводі кожен елемент повинен повідомляти про свій стан. Наші системи інфрачервоного випромінювання підключаються безпосередньо до системи SCADA.
Ви можете бачити, коли лампа починає изнашиватися, а також контролювати кількість енергії, яку використовує кожна пластина. Це дозволяє уникати необхідності дотримування жорсткого графіка технічного обслуговування та полагоджувати проблеми саме тоді, коли це необхідно.
Коли лампа починає втрачати свої характеристики, система попереджає про це. Ви можете замінити її ще до того, як продуктивність заводу знизиться. Це справжня перевага використання систем керування на основі даних.