На лінії виробництва достатньо лише 0,5°C зміни температури під час процедури випалювання фотогальванічного шару, щоб критичні розміри деталей змінилися на кілька нанометрів. Одна неякісна партія продукції означає необхідність знищення всієї партії. Ми створили нашу міжнародну лінію промислових нагрівачів, враховуючи цю реальність: система термоконтролю забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини при значенні ±0,1°C, щодня, під час процедур м’якого та жорсткого випалювання, а також після обробки.
Що є важливим з технічної точки зору
Серцем цієї системи є нагрівач, придатний для використання в чистих приміщеннях, розроблений спеціально для потреб полупровідникової промисловості. Нагрівачі на основі галогену та інфрачервоного випромінювання передають тепло безпосередньо у фотогальванічний шар та основу, що дозволяє швидко досягти потрібної температури та підтримувати її без перевищень, що, у свою чергу, зменшує час виконання процедури без впливу на її точність. Температура залишається стабільною по всій поверхні пластини, тож контроль ширини ліній залишається в межах допусків.
Запобігання утворенню частинок забезпечується за рахунок використання матеріалів з низьким рівнем випаровування та герметичної конструкції – це дозволяє використовувати ці пристрої в приміщеннях класу 1–100. Ці пристрої працюють 24/7 без перерв, а інтервали обслуговування є довгими, що означає меншу кількість запасних частин та менше витрат на технічне обслуговування.
Чому це корисно у процесі літографії
У процесі літографії стабільність температури під час випалювання безпосередньо впливає на кількість необхідних корекцій та на якість продукції. Використання енергії зменшується, оскільки нагрівач швидко досягає потрібної температури та підтримує її без перевищень, що знижує енергоспоживання на одну пластину.
Цей нагрівач може бути легко інтегрований з існуючими пристроями, тож не виникає додаткових ризиків. Крім того, оскільки одну і ту саму термічну платформу можна використовувати на кількох станціях випалювання, стратегія управління запасними частинами залишається простою.
На що потрібно звернути увагу
Підбір нагрівача відповідно до геометрії камери та режиму потоку повітря є обов’язковим – навіть невелика неузгодженість може призвести до проблем. Будьте готові до короткого тестування для налаштування параметрів PID та захисту від впливу зовнішніх факторів.
Також необхідно заздалегідь визначити напругу живлення та типи роз’ємів, що відповідають вашому обладнанню. Якщо це зробити неправильно, це призведе до необхідності дорожніх корекцій, які не були передбачені в бюджеті.