Fırının ısınmasını beklemeyi bırakın: İnfrakızıl ısıtma yöntemi
Eğer yarı iletken işleme alanında biraz olsun zaman geçirdiyseniz, beklemenin ne kadar sinir bozucu olduğunu bilirsiniz. Özellikle de sıcak hava sistemlerinin istenen sıcaklığa ulaşmasını beklemek çok uzun sürüyor. Bu durum adeta sonsuzluk gibi geliyor.
İşte bu yüzden birçok kişi infrakızıl ısıtma yöntemini tercih ediyor. Asıl fark şu: Sıcak hava yönteminde önce havayı, ardından da odanın kendisini ısıtmak gerekiyor; ancak ancak o zaman ısı parçaya ulaşıyor. Bu bir aracı sorunudur. İnfrakızıl lambalar ise bu aracıyı ortadan kaldırır ve radyasyon enerjisini doğrudan parçaya ileterek ısıtma işlemini gerçekleştirir.
Çok hızlıdır. Gerçekten çok hızlı.
Sıcak hava kullanıldığında büyük bir termal inertlik söz konusudur. İstediğiniz sıcaklığa ulaşmak için dakikalarca beklemek zorundasınız. İnfrakızıl ısıtma yönteminde ise saniyeler içinde çalışma sıcaklığına ulaşılır.
Bir mühendis için bu büyük bir avantajdır. O can sıkıcı “ısınma süreci” neredeyse tamamen ortadan kalkar. Daha az zaman bekleyip daha fazla zaman işleme yaparsınız; bu da her parti için gereken toplam sürenin önemli ölçüde azalmasını sağlar.
Ayrıca temiz oda faktörü de var. Hareketli hava kullanmak risklidir. En iyi HEPA filtrelerle bile yüksek hızda sıcak hava üflemek, tozların istenmeyen yerlere gitmesine neden olur. İnfrakızıl lambalar ise orada sabit kalır; toz üflemez, enkaz yaratmaz ve waferlerinize zarar vermez.
Ayrıca devasa fanlara veya karmaşık boru sistemlerine ihtiyaç duyulmadığı için ekipmanlarınızın yer kaplaması da çok az olur.
Ancak unutmayın ki bu bir sihirli değnek değildir. Dikkat etmeniz gereken bazı şeyler vardır. Isı çok hızlı ulaştığı için, PID kontrol cihazları doğru ayarlanmadığında hedef sıcaklığı aşmak kolaydır. Ayrıca parçalar üst üste veya örtüşüyorsa, infrakızıl dalgaları gizli bölgelere ulaşamaz. Her yeren eşit şekilde ısıtılabilmesi için lamba yerleşimleri ve yansıtıcılar konusunda dikkatli olmalısınız. Eğer bunu yanlış yaparsanız, ince film tabanlarınız deformlenebilir ve bu da kimseyin istemediği bir durumdur.