ในกระบวนการผลิต ความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิไม่ใช่เรื่องที่สามารถมองข้ามได้ เพราะมันส่งผลโดยตรงต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ หากอุณหภูมิเพิ่มขึ้นเพียงครึ่งองศา...

ในโรงงานผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ระหว่างกระบวนการอบฟอโตเรสิสต์ ก็เพียงพอที่จะทำให้ขนาดของชิปเปลี่ยนแปลงไปหลายนาโนเมตรได้...

บนพื้นที่ผลิต คุณไม่สามารถยอมให้เกิดการเปลี่ยนแปลงได้ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.3°C ในการอบ photoresist อาจทำให้งบประมาณขนาดมิติสำคัญเสียไป...