
ทำไมการใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดในสภาพสุญญากาศถึงเหมาะสมสำหรับวัสดุ semiconductor
อุตสาหกรรมกำลังพยายามหาวิธีการผลิตที่ปราศจากสารตะกั่วและมีการปล่อยคาร์บอนในปริมาณน้อย ซึ่งฟังดูดีมาก แต่จริงๆ แล้วมันกลับสร้างปัญหาให้กับผู้ที่ต้องควบคุมเครื่องจักรจริงๆ
เตาอบแบบการถ่ายเทอากาศแบบดั้งเดิมนั้นไม่มีประโยชน์เลยในสภาพสุญญากาศ เพราะไม่สามารถทำให้อากาศเคลื่อนที่ได้ และแม้ว่าจะสามารถทำได้ ก็จะทำให้มีสิ่งปนเปื้อนกระจายไปทั่ววัสดุที่กำลังถูกประมวลผล นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดในสภาพสุญญากาศแทน เพราะระบบนี้ใช้รังสีคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าในการให้ความร้อนโดยตรงกับวัสดุ ไม่มีสิ่งกั้นกลาง และไม่มีความสกปรกเกิดขึ้น
วิธีการทำงานจริงๆ
เมื่อไม่มีอากาศอยู่ในสภาพสุญญากาศ ก็ไม่ต้องกังวลเรื่องการถ่ายเทอากาศอีกต่อไป สิ่งที่เหลือก็คือรังสีและการถ่ายเทความร้อนโดยตรง
เราปรับแต่งเครื่องทำความร้อนเหล่านี้ให้สามารถให้ความร้อนในความยาวคลื่นที่วัสดุสามารถดูดซับได้ดีที่สุด ด้วยวิธีนี้ พลังงานจะถูกส่งตรงไปยังวัสดุโดยไม่สูญเสียเวลาไปกับการทำให้อากาศร้อนขึ้น
มันเร็วมาก จริงๆ แล้ว ระยะเวลาในการประมวลผลสามารถลดลงจากหลายชั่วโมงเหลือเพียงไม่กี่นาทีเท่านั้น
ปัญหาที่ต้องระวัง: วัสดุและความร้อน
คุณไม่สามารถนำหลอดไฟใดๆ มาใช้ในสภาพสุญญากาศได้เลย เราใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงหรือเซรามิกพิเศษ เพราะการปล่อยก๊าซออกมาเป็นเรื่องที่น่ากังวลมาก หากหลอดไฟปล่อยอนุภาคเล็กๆ ออกมาเพียงเล็กน้อย วัสดุก็จะเสียหายได้
นอกจากนี้ คุณยังต้องระวังเรื่องกำลังไฟด้วย หลอดไฟอินฟราเรดที่มีกำลังสูงจะทำให้เกิดความร้อนสูงขึ้นอย่างรวดเร็ว แต่ถ้าไม่ระวัง ก็อาจทำให้เกิดจุดร้อนขึ้นได้ คุณต้องปรับสมดุลระหว่างกำลังไฟกับคุณสมบัติทางความร้อนของวัสดุด้วย หากทำผิด วัสดุซิลิคอนก็จะเสียหายได้
ข้อดี
การเปลี่ยนมาใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดในสภาพสุญญากาศช่วยให้คุณสามารถลดการใช้พลังงานได้ นอกจากนี้ ยังเป็นวิธีที่ดีที่สุดในการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำสำหรับวัสดุที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมและสำหรับกาวที่ไม่มีฮาโลเจน
แต่ก็มีข้อเสียเช่นกัน การเชื่อมต่อหลอดไฟเหล่านี้เข้ากับตู้สุญญากาศต้องใช้อุปกรณ์พิเศษ หากการปิดผนึกไม่ดีพอ ก็จะมีการรั่วไหลของก๊าซ และหลอดไฟก็จะเสียหายได้
มันเป็นเรื่องของการแลกเปลี่ยนระหว่างความเร็วและความบริสุทธิ์ คุณจะได้รับความเร็วและความบริสุทธิ์ที่ยอดเยี่ยม แต่คุณต้องมั่นใจว่าตู้สุญญากาศมีความสมบูรณ์แบบเพื่อให้หลอดไฟทำงานได้อย่างถูกต้อง