ในกระบวนการผลิตบนโรงงาน การอบวัสดุด้วยแสงอินฟราเรดไม่ใช่เพียงขั้นตอนที่สามารถหยุดชั่วคราวได้เท่านั้น แต่เป็นขั้นตอนที่จำเป็นต้องทำอย่างเคร่งครัด หากแผ่นควบคุมอุณหภูมิเกิดความผิดเพี้ยน ก็จะส่งผลให้ควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นวัสดุไม่ได้ ในกรณีของ MEMS นั้น การควบคุมอุณหภูมิมีความสำคัญมาก เพราะความผิดพลาดเล็กน้อยก็สามารถส่งผลกระทบต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ได้
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราออกแบบเครื่องทำความร้อนด้วยแสงอินฟราเรดนี้ขึ้นมาเพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยใช้แสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นเพื่อให้มีการตอบสนองอย่างรวดเร็ว และใช้องค์ประกอบควอตซ์-ฮาโลเจนเพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอ นอกจากนี้ยังมีการออกแบบระบบควบคุมแบบวงจรปิด เพื่อให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ในช่วง ±0.1°C บริเวณที่มีความร้อนสูงนี้ถูกออกแบบมาให้ใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยมีการเลือกวัสดุและวิธีการประกอบเพื่อให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้น และไม่มีการปล่อยก๊าซออกมาด้วย สิ่งสำคัญคือความสม่ำเสมอในการผลิต ไม่ว่าจะเป็นการอบแต่ละครั้ง หรือแต่ละวัน
เหตุผลที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการผลิต MEMS
ในกระบวนการผลิต MEMS นั้น จำเป็นต้องมีการอบวัสดุทั้งในรูปแบบอ่อนและรูปแบบแข็ง โดยมีช่วงความคลาดเคลื่อนที่น้อยมาก เครื่องทำความร้อนนี้สามารถให้อุณหภูมิที่สม่ำเสมอในแต่ละรอบการอบ ทำให้สามารถสร้างโครงสร้างต่างๆ บนแผ่นวัสดุได้อย่างสม่ำเสมอ นอกจากนี้ การเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วยังช่วยลดเวลาการอบลง โดยไม่ส่งผลกระทบต่อความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นวัสดุ
การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องนี้จะทำความร้อนเฉพาะบริเวณที่ต้องการเท่านั้น ไม่ใช่ทั้งแผ่นวัสดุ ความน่าเชื่อถือของเครื่องนี้สามารถเห็นได้จากเวลาการทำงานที่ต่อเนื่อง โดยในกระบวนการผลิตต่อเนื่องนั้น จะไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด และการบำรุงรักษาก็สามารถคาดการณ์ได้ ไม่มีเหตุการณ์ฉุกเฉินเกิดขึ้น
สิ่งที่ควรวางแผนไว้ล่วงหน้า
การติดตั้งเครื่องนี้นั้น จำเป็นต้องมีการปรับแต่งอินเทอร์เฟซของเครื่องให้เหมาะสม และตรวจสอบแรงดันไฟฟ้าและระบบระบายความร้อน โดยปกติจะใช้แรงดันไฟฟ้า 240V และมีระบบระบายความร้อนด้วยอากาศหรือน้ำ นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถใช้งานร่วมกับอุปกรณ์ Lithography และอุปกรณ์อื่นๆ ได้ แต่ต้องให้แน่ใจว่าเส้นทางแสงไม่มีอุปสรรคใดๆ เพราะอุปสรรคใดๆ ก็สามารถส่งผลกระทบต่อรูปแบบความร้อนได้
ควรวางแผนเรื่องพื้นที่ในห้องปลอดฝุ่นไว้ล่วงหน้า หากพื้นที่ในห้องปลอดฝุ่นมีขนาดจำกัด ก็จำเป็นต้องมีการวางแผนพื้นที่และช่องทางการบำรุงรักษาให้เหมาะสม หากทำได้อย่างถูกต้อง กระบวนการผลิตก็จะสามารถดำเนินไปได้อย่างราบรื่น และข้อมูลในเอกสารก็จะเพียงพอสำหรับการตัดสินใจในการผลิตต่อไป