Как правильно высушивать пластины с чипами MEMS с использованием инфракрасного излучения
Если вы строите современный завод по производству электроники, вы знаете, что все должно управляться с помощью данных. Но при высушивании пластин с чипами MEMS важна не только программа, но и само оборудование. Поэтому мы отказались от старых конвекционных печей и перешли на системы с коротковолновым инфракрасным излучением.
Это делает процесс более быстрым. К тому же это предотвращает проникновение химических веществ внутрь пластин, что может повредить их.
Управление теплом
Сложность заключается в том, чтобы быстро удалить влагу с пластин, не нанося им вреда. Нельзя просто подвергать пластины сильному нагреву и надеяться на лучшее.
Мы используем кварцевые лампы высокой мощности, чтобы тепло распределялось точно там, где это необходимо. С помощью регулировки напряжения и частоты работы можно изменять интенсивность нагрева в реальном времени. Независимо от того, имеются ли пластины тонкостенные или имеется сложная геометрия чипов, система всегда адаптируется.
Благодаря почти мгновенной реакции системы, ваш контроллер может регулировать интенсивность нагрева на основе информации в реальном времени. Именно так и должен функционировать современный цифровой завод.
Детали оборудования
Мы используем кварцевые элементы высокой чистоты для нагревателей. Почему? Потому что мы не хотим, чтобы возникало выделение газов рядом с пластинами.
Лампы размещены в специальных массивах, чтобы тепло равномерно распределялось по всей поверхности пластины. Мы также используем специальные разъемы. Поверьте, вы не хотите, чтобы детали начали шататься из-за вибраций оборудования.
Но есть один недостаток: высокая интенсивность инфракрасного излучения приводит к значительному нагреву окружающих элементов. Пластины высыхают быстро, но само оборудование подвергается серьезному нагреву. Вам необходимо тщательно подобрать системы охлаждения и вентиляции, иначе контрольные электронные компоненты будут повреждены.
Создание «умного» оборудования
На современном заводе каждый элемент должен сообщать о своем состоянии. Наши системы инфракрасного излучения подключаются непосредственно к системе SCADA. Вы можете видеть, когда лампы начинают изнашиваться, а также контролировать количество энергии, потребляемое каждой пластиной. Это позволяет избавиться от необходимости соблюдения строгого графика технического обслуживания и ремонтировать оборудование лишь тогда, когда это действительно необходимо.
Когда лампа начинает выходить из строя, система сигнализирует об этом. Вы можете заменить ее до того, как снизится качество продукции. Вот в чем преимущество использования систем, управляемых данными.