На производственном участке процесс обжига фоторезиста не является просто временной паузой в работе оборудования. Это жестко заданный этап процесса. Если температура на нагревательной плате изменяется, это влияет на качество изготовления дисков. Если степень однородности температуры недостаточна, это сказывается на качестве готовой продукции. В технологии MEMS температурный режим очень строго контролируется, поскольку малейшие ошибки в температуре могут иметь серьезные последствия.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы разработали этот инфракрасный нагреватель для обеспечения точного контроля температуры в процессе производства MEMS-устройств: использование коротковолнового инфракрасного излучения для быстрого достижения нужной температуры, кварцево-галогеновые элементы для стабильной работы нагревателя, а также система замкнутого цикла, направленная на поддержание однородности температуры на уровне ±0,1°C. Нагреватель предназначен для использования в чистых комнатах класса 1–100; материалы и поверхности, из которых он сделан, выбраны таким образом, чтобы исключить возникновение частиц и выделение газов. Главное — повторяемость процесса: при каждом обжиге, в каждой партии продукции, каждый день.
Почему это подходит для процесса производства MEMS В производстве MEMS используются процессы мягкого и жесткого обжига с очень малыми допусками. Этот нагреватель обеспечивает одинаковую температуру на протяжении всего цикла, что позволяет получать единообразные результаты при изготовлении устройств. Быстрое нагревание сокращает время цикла без ущерба для однородности температуры на всем диске. Энергопотребление снижается, поскольку нагревается только целевая зона, а не весь диск. Надежность оборудования проявляется в отсутствии неplановых простоев в производстве; техническое обслуживание также происходит предсказуемо, без неожиданностей.
Что необходимо учитывать при планировании При установке важно учитывать интерфейс оборудования, а также параметры напряжения и охлаждения — обычно 240 В и специальная система воздушного или водяного охлаждения. Нагреватель совместим с стандартными устройствами для литографии, но необходимо сохранять чистоту оптического пути; любые препятствия могут изменить температурный режим. Необходимо заранее спланировать пространство в чистой комнате. Если пространство ограничено, необходимо правильно спланировать расположение оборудования и доступ к нему. При правильном планировании процесс будет выполняться без проблем, а все необходимые данные будут указаны в технической документации.