Прекратите тратить энергию впустую: более эффективный способ сушки пластин
В производстве полупроводников необходимо избавляться от влаги на поверхности пластин, не повреждая при этом саму пластину. Но проблема в том, что многие из нас по-прежнему тратят огромное количество энергии, как это было в 1995 году. Если мы действительно хотим достичь целей «зеленого производства», нам нужно перестать просто увеличивать мощность оборудования и ждать лучшего результата.
Поэтому мы отказались от устаревших ручных или аналоговых устройств и перешли на цифровые контроллеры для сушки с использованием инфракрасного излучения.
Секрет лучшего контроля температуры
Большинство стандартных инфракрасных ламп работают либо в режиме активации, либо в режиме выключения. Они постоянно излучают тепло, независимо от того, действительно ли пластина его нуждается. Это явление является избыточным.
В наших цифровых контроллерах используются алгоритмы PID для регулировки мощности. Вместо прямого воздействия используется более точный метод регулировки, который позволяет контролировать мощность в реальном времени. Это предотвращает чрезмерное повышение температуры и трату энергии. В результате получается равномерная температурная профиль.
Результат? Нужно гораздо меньше энергии для обработки одной партии продукции. Просто так.
Проблемы с оборудованием
Инфракрасные лампы высокой мощности создают большую нагрузку на электросеть. Мы разрабатываем контроллеры, которые позволяют быстро переключаться между режимами без повреждения конденсаторов или сбоев в системе.
Скорость очень важна. Если контроллер задерживается хотя бы на секунду, это приведет к перегреву пластины или к тому, что лампы будут работать дольше, чем необходимо. Оба варианта неприемлемы.
Обычно мы используем лампы с коротковолновым излучением, потому что они быстрее проникают в поверхность пластины. Но есть недостаток: коротковолновое излучение сильно воздействует на поверхность пластины. Необходимо найти оптимальный баланс между мощностью излучения и скоростью движения конвейера.
Если увеличить мощность для ускорения работы конвейера, вентиляторы будут работать еще интенсивнее, чтобы не допустить перегрева оборудования. Это компромисс: мы экономим время на производстве, но тратим больше денег на охлаждение.
Сокращение выбросов углерода
В конечном итоге сокращение выбросов углерода в чистых помещениях сводится к сокращению расходов на электроэнергию.
Цифровой контроль позволяет нам использовать режим «сна». Когда на производственной линии есть пауза, система не работает на полной мощности. Она снижает мощность.
Это простая математика: меньше отходов значит меньше выбросов углерода.