На производственном участке тепловые колебания во время обработки фотополимера серьезно снижают качество продукции. Если процесс мягкой обработки не происходит однородно, то ширина линий на пластине начинает меняться. А неравномерная жесткая обработка приводит к появлению осадков и остатков на поверхности пластины. Мы создали керамическую инфракрасную панель нагрева, которая устраняет эти колебания, обеспечивая стабильное нагревание без перегрева или задержек.
Что важно при работе устройства Устройство нагревает за счет излучения, а не конвекции, используя керамические элементы коротковолнового инфракрасного излучения. Для достижения заданной температуры требуется менее 2 секунд, а однородность температуры на всей площади пластины составляет ±0,1°C. Повторяемость результатов при разных партиях продукции составляет ±0,5°C, что позволяет сохранять стабильность температурного режима. Поверхность устройства разработана таким образом, чтобы не выделять никаких частиц, что соответствует стандартам чистых помещений класса 1–100. Материалы устройства устойчивы к агрессивным чистящим средствам без выпуска газов. С точки зрения электрических характеристик устройство соответствует стандартам оборудования для производства полупроводников: низкий уровень ЭМИ и надежная изоляция.
Почему это важно в процессе литографии В процессе литографии и обработки фотополимера такая точность способствует лучшему контролю над критическими размерами элементов и сокращению количества необходимых корректировок. Профиль мягкой обработки остается стабильным, что предотвращает проникновение растворителей в поверхность пластины. Жесткая обработка способствует улучшению адгезии материалов, что снижает количество остатков на поверхности. Быстрый временной отклик устройства сокращает время простоя между процедурами нагрева, что позволяет повысить производительность без увеличения энергозатрат. Устройство может работать 24/7 с минимальным уровнем обслуживания — нет риска перегрева нитьей нагрева, нет точек с высокой температурой. Это делает его отличной альтернативой импортным нагревательным устройствам, так как он может быть использован в существующих установках, сохраняя при этом качество процесса и снижая затраты на запчасти.
Примечания по установке При установке необходимо учитывать механические характеристики устройства и типы соединителей. Необходимо также убедиться в соответствии толеранций по выравниванию — это обеспечивает однородность температуры в нужных зонах. Устройство работает наилучшим образом при стабильном напряжении сети; значительные колебания напряжения могут повлиять на точность температуры. Поэтому использование локального регулятора напряжения является разумным решением. Необходимо провести краткую проверку для определения распределения температуры по пластине и установления оптимальных параметров работы устройства.