Berhentilah menggunakan udara panas untuk proses pemanasan, dan mulailah menggunakan metode pemanasan yang lebih efektif. Jika Anda masih menggunakan udara panas untuk proses pengeringan di jalur produksi semikonduktor Anda, kemungkinan besar Anda sudah menyadari adanya hambatan yang sama. Udara memang sangat tidak efektif dalam mentransfer panas.
Anda harus menunggu hingga udara benar-benar memanaskan bahan yang akan diproses. Sementara itu, energi banyak terbuang sia-sia hanya untuk memanaskan seluruh ruang di dalam oven. Ini merupakan pemborosan energi.
Ada cara yang lebih baik: menggunakan sinar inframerah tanpa ozon. Alih-alih mengandalkan udara, lampu inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik. Radiasi ini langsung mengenai bahan yang akan diproses. Tidak perlu menunggu proses konveksi untuk mencapai suhu yang diinginkan. Dengan demikian, proses pemanasan berlangsung jauh lebih cepat. Ini merupakan perubahan sederhana dari metode konduksi ke metode radiasi, dan hal ini dapat menghemat banyak waktu.
Namun, ada masalah dengan sinar inframerah biasa. Biasanya, sinar inframerah berpanjang gelombang pendek dapat menghasilkan ozon akibat cara gelombang tersebut mempengaruhi molekul oksigen. Di ruang bersih, ozon merupakan musuh besar. Ozon dapat merusak peralatan serta komponen-komponen sensitif.
Untuk mengatasi hal ini, kita menggunakan emitor yang telah difilter, serta campuran kuarsa tertentu untuk menahan spektrum VUV. Dengan begitu, Anda tetap mendapatkan panas yang diperlukan, namun prosesnya tetap bersih. Selain itu, Anda tidak perlu memasang sistem ventilasi yang rumit untuk membersihkan udara.
Namun, harus diakui bahwa ini bukanlah solusi instan. Anda perlu memastikan posisi reflektor tepat. Jika posisinya salah, maka akan terjadi titik-titik panas. Dalam industri ini, titik panas berarti wafer yang rusak atau batch produk yang gagal.
Selain itu, sinar inframerah menghasilkan panas yang sangat intens di area tertentu. Sebelum beralih ke metode ini, pastikan kabinet lampu memiliki sistem pendingin yang memadai, agar kabel-kabelnya tidak rusak.
Pada akhirnya, jika Anda ingin meningkatkan kapasitas produksi, inilah langkah yang tepat. Berhentilah menggunakan udara panas, dan gunakan metode pemanasan yang lebih efektif.