רצפת הליטוגרפיה סטייה של 0.5°C בתהליך אפיית הפוטורזיסט היא טעות שמובילה לפסילת כל מיכל לפני שרואים את ההשפעה. דרושה חום שמגיע בדיוק לאזור שנקבע...

On the fab floor, you can’t afford drift. A 0.3°C shift in the photoresist bake and your critical dimension budget is gone. Yield slips before...

מכסה מייבש הספין נופל, והוופרה מתמקמת במרחב מבוקר שבו יש להסיר את שאריות מי ההדחה באופן נקי – ללא כתמים, ללא סימנים, ללא חלקיקים. בקו של 300 mm, טווח...