Réduire les émissions de carbone dans les usines de fabrication de semi-conducteurs grâce à des lampes à tubes jumeaux recouverts d’or
Si vous souhaitez réduire votre empreinte carbone dans la fabrication de semi-conducteurs, il vous faut commencer par gérer la chaleur. C’est généralement là que l’énergie est perdue inutilement. C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges à tubes jumeaux recouverts d’or. Ce ne sont pas de simples chauffages ordinaires : on peut les considérer comme des outils de précision qui dirigent l’énergie directement vers le substrat. Ainsi, vous ne gaspillez ni temps ni énergie pour chauffer toute la chambre, juste pour atteindre la température idéale du wafer.
Pourquoi l’or ?
Les tubes en quartz standard sont poreux ; ils laissent s’échapper une grande quantité d’énergie dans l’air ambiant. En ajoutant un fin revêtement en or sur les tubes jumeaux, on modifie la manière dont la chaleur se propage. L’or reflète les rayonnements infrarouges vers la cible, ce qui concentre le flux thermique. Le résultat ? Un profil thermique plus précis et des temps de chauffe beaucoup plus rapides. Lorsque la lampe atteint plus vite la température souhaitée, la consommation d’énergie par wafer diminue. C’est une façon simple de créer une « usine verte » : on cesse simplement de gaspiller de l’énergie.
Le système à tubes jumeaux
Le design à tubes jumeaux est ingénieux : il double la surface de chauffe sans occuper plus d’espace. Cela permet d’utiliser plus d’énergie sans risquer de endommager les filaments. Ce système est idéal pour les processus de traitement thermique rapide, où une forte densité d’énergie est nécessaire. Mais attention : lorsque tant d’énergie est concentrée dans un espace restreint, les systèmes de refroidissement doivent être parfaits. Si le flux d’air est insuffisant, les extrémités des lampes peuvent être endommagées. C’est un compromis, mais facile à gérer si les spécifications sont correctes.
Favoriser l’environnement
Remplacer les anciens chauffages résistifs ou les fours convectifs par des systèmes infrarouges recouverts d’or est logique. On peut connecter ces lampes à des contrôleurs zone par zone, afin de chauffer uniquement là où c’est nécessaire. Plus de surchauffe inutile. En réduisant le temps de traitement et la consommation d’énergie, on diminue l’intensité carbone de toute la chaîne de production. Ainsi, on peut atteindre des objectifs de neutralité carbone sans ralentir le rythme de production. C’est une solution gagnant-gagnant.