Hören Sie auf, die Wände zu erhitzen – eine bessere Methode zur Handhabung von Halbleiterwerkzeugen
Haben Sie schon einmal mit „heißen Wänden“ in Ihren Geräten zu kämpfen gehabt? Das ist ein Albtraum. Wenn man die üblichen Strahlheizungen einschaltet, verteilt sich die Wärme überall. Bald schon fungieren die teuren Vakuumkammern und Verarbeitungswerkzeuge wie riesige Wärmeableiter. Das ist nicht nur eine Verschwendung von Energie, sondern auch eine Sicherheitsgefahr für alle, die in der Nähe der Maschine stehen.
Wir haben eine Lösung gefunden. Der Trick besteht darin, Ultrapure-Lampen zu verwenden, die die Wärme gezielt dorthin lenken, wo sie benötigt wird.
Wie es funktioniert
Die meisten Quarzlampen geben die Energie in einem 360-Grad-Kreis ab. Das ist unpraktisch. Unsere gerichteten Ultrapure-Lampen nutzen spezielle Reflektoren sowie gezielte Filamente, um die Infrarotenergie direkt auf das Wafer oder Substrat zu lenken. Dadurch trifft die Energie nicht mehr die Wände der Kammer. So kann man genau die gewünschte Temperatur am Arbeitspunkt erreichen, ohne dass das Gehäuse zu einem Heizgerät wird.
Materialien
Wir verwenden hochwertigen synthetischen Quarz – schließlich kann das Austritt von Gasen in solchen Umgebungen katastrophale Folgen haben. Jede kleine Unreinheit im Glas kann ein Wafer zerstören. Diese Lampen sind außerdem besonders widerstandsfähig – sie können extreme Temperaturen aushalten, ohne zu zerbrechen.
Achtung: Achten Sie auf die Leistungsdichte dieser Lampen. Sie erzeugen eine enorme Menge an Wärme, was großen Druck auf die elektrischen Kontakte ausübt. Wenn Ihre Verkabelung nicht für diese hohen Ströme ausgelegt ist, können die Steckdosen beschädigt werden.
Vorteile und Nachteile
Der große Vorteil ist die Sicherheit. Wenn die Außenseiten der Geräte kühl bleiben, können die Techniker problemlos Zugang zu den Geräten erhalten, um Wartungsarbeiten durchzuführen – ohne befürchten zu müssen, Verbrennungen durch die heißen Oberflächen zu erleiden.
Denken Sie jedoch daran: Gezielte Strahlen sind sehr intensiv. Wenn Ihr Teil auch nur leicht aus der Mitte verschoben ist, kann das zu Hotspots führen, die das Substrat verformen. Sie müssen also genau darauf achten, dass alles perfekt ausgerichtet ist, damit dieses System funktioniert.