Sicherstellen der Sicherheit bei der Erwärmung von Halbleitern in chemischen Reinräumen
Wenn Sie Halbleiterkomponenten in einem chemischen Reinraum erhitzen, haben Sie es mit einer ziemlich problematischen Situation zu tun – schließlich handelt es sich um flüchtige, brennbare Dämpfe.
Herkömmliche IR-Lampen sind „offengelegt“, das bedeutet, dass die Heizelemente direkt sichtbar sind. In einem Raum voller Dämpfe kann bereits eine kleine Funke oder ein heißer Punkt auf den Anschlüssen zu einer Katastrophe führen.
Deshalb haben wir auf solche offenen Lampen verzichtet und stattdessen geschlossene IR-Systeme verwendet.
Der Schlüssel liegt in der Abdichtung.
Wir platzieren die Heizelemente in einen hochtransparenten Quarzschlauch und umhüllen diesen anschließend mit einer zusätzlichen Schutzhülle. Das ist im Grunde genommen eine Art physische Barriere zwischen dem elektrischen Strom und der Luft. Da die Hülle luftdicht ist, können die brennbaren Chemikaliendämpfe die Heizelemente gar nicht erreichen.
Wir verwenden in der Regel Gehäuse aus anodisiertem Aluminium oder Edelstahl. Warum? Weil Säuredämpfe alles andere zerstören würden. Zudem verwenden wir Dichtungen, die auch nach mehreren hundert Erwärmungskreisläufen noch funktionieren.
Aber es gibt ein Problem.
Wenn man eine Lampe in ein Gehäuse einpackt, geht der natürliche Luftstrom verloren. Die Wärme hat keinen Weg mehr abzugehen – und wenn man nicht vorsichtig ist, kann die Lampe selbst zerstört werden.
Um dieses Problem zu lösen, bauen wir integrierte Kühlsysteme oder Kanäle für die gezielte Kühlung direkt in das Gehäuse ein. Wir verwenden außerdem Kurzwellen-IR-Emitter. Diese dringen schneller in die Halbleiterkomponenten ein – dadurch muss der Heizer nicht lange bei hoher Temperatur arbeiten. Dadurch wird der Druck auf die Abdichtungen stark verringert.
Ein paar Punkte, die man bei der Installation beachten sollte:
Diese Geräte sind zwar als Ersatz für Ihre alten Heizgeräte konzipiert, doch sie sind etwas größer. Das Sicherheitsgehäuse nimmt also Platz in Anspruch. Überprüfen Sie vor dem Kauf unbedingt, ob Ihr Chassis genug Platz dafür bietet.
Außerdem benötigen Sie explosionsgeschützte Leitungen für die Verkabelung.
Noch ein Tipp: Da diese Geräte mehr Masse haben als herkömmliche Lampen, brauchen sie etwas länger, bis sie auf Temperatur gekommen sind. Sie müssen möglicherweise Ihre PID-Controller anpassen, damit die Temperaturregelung funktioniert. Andernfalls könnten die Temperaturanzeigen anfangs etwas ungenau sein.