In der Fertigungshalle stellt die thermische Drift während des Trocknungsprozesses des Photoresists eine große Hürde für die Qualität dar. Wenn die Temperatur beim Weichtrocknen nicht gleichmäßig ist, beginnen die Linienbreiten zu schwanken. Ein ungleichmäßiger Harttrocknungsprozess führt wiederum zu Ablagerungen und Rückständen. Wir haben daher ein Keramik-Infrarotheizpaneel entwickelt, das diese Unregelmäßigkeiten ausmerzt – es liefert eine konstante Wärmeabgabe, die dem eingestellten Wert entspricht, ohne Überschreitungen oder Verzögerungen.
Was wirklich wichtig ist: Das Heizelement arbeitet durch Strahlung und nicht durch Konvektion – es handelt sich dabei um kurzwellige Infrarotelemente, die in Keramikgehäuse eingebettet sind. Es dauert weniger als 2 Sekunden, bis die gewünschte Temperatur erreicht ist. Die Gleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche liegt bei ±0,1°C innerhalb des aktiven Bereichs. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,5°C von Charge zu Charge – somit bleibt die thermische Stabilität gewährleistet. Die Oberfläche ist so gestaltet, dass keine Partikel freigesetzt werden – dadurch wird ein sauberes Arbeitsumfeld in Klasse 1–100 gewährleistet. Zudem sind die Materialien gegen aggressive Reinigungsmittel resistent, ohne dass es zu Gasentstofflichungen kommt. Elektrisch gesehen erfüllt das Gerät alle Anforderungen an Halbleiterausrüstungen: geringer EMI-Ausstoß sowie solide Isolierung.
Warum das in der Lithografie wichtig ist: In der Lithografie und im Umgang mit Photoresisten führt diese Präzision zu einer besseren Kontrolle der kritischen Abmessungen sowie zu weniger Nachbearbeitungen. Die Profile des Weichtrocknungsprozesses bleiben konstant, wodurch keine Lösungsmittel mehr in den Prozess eindringen können. Der Harttrocknungsprozess sorgt dafür, dass die Haftung verbessert wird – dadurch werden Kantenprobleme und Rückstände vermieden. Die schnelle Reaktionszeit reduziert die Stillstandszeiten zwischen den Trocknungsprozessen – dadurch steigt die Ausbringungskapazität, ohne dass der Energieverbrauch zunimmt. Das Panel kann 24/7 betrieben werden, mit minimalem Wartungsaufwand – es gibt keine Filamentverschleißprobleme oder Hotspots. Somit bleibt die Produktion stets ungestört. Als direkte Alternative zu importierten Heizern passt dieses Panel perfekt in die vorhandenen Installationen – dadurch bleibt die Prozesseinstellung erhalten, während die Kosten für Ersatzteile gesenkt werden.
Praktische Hinweise: Bei der Installation muss man darauf achten, dass die mechanischen Abmessungen sowie die Anschlussarten des Geräts passen. Die Ausrichtung muss genau kontrolliert werden – nur so bleibt die Gleichmäßigkeit gewährleistet. Das Panel funktioniert am besten bei stabiler Netzspannung – starke Schwankungen können die Genauigkeit beeinträchtigen. Deshalb ist es sinnvoll, einen lokalen Spannungsregler zu verwenden. Durch eine kurze Qualifizierungsphase kann die Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche ermittelt werden, sodass die richtigen Einstellungen festgelegt werden können.