Proč je ohřev pomocí vakuumového infračerveného záření ideální pro polovodiče
Průmysl usiluje o standardy bez olova a s nízkým uhlíkovým obsahem. Na papíře to zní skvěle, ale pro lidi, kteří sami obsluhují stroje, to představuje opravdový problém.
Tradiční konvekční pece? Ty zde nepomohou. Ve vakuu se vzduch nemůže pohybovat, a i kdyby mohl, jen byste rozsévali nečistoty po celé pracovní ploše. Proto používáme infračervené ohřívače kompatibilní s vakuem. Místo vzduchu využívají tyto systémy elektromagnetické záření, které působí přímo na povrch substrátu. Žádný prostředník. Žádný nepořádek.
Jak to ve skutečnosti funguje
Když odstraníte vzduch, přestanete se starat o konvekci. Zbývá jen záření a vedení tepla.
Tyto ohřívače nastavujeme tak, aby vyzařovaly specifické vlnové délky, které fotoresist nebo lepidlo dokážou absorbovat. Jelikož neplýtváte energií na ohřev celé místnosti plné vzduchu, energie putuje přímo do čipu.
Je to rychlé. Opravdu rychlé. Mluvíme o snížení doby zpracování z hodin na několik minut.
Problém: Materiály a teplo
Nemůžete prostě jen tak umístit jakoukoliv lampu do vakuua. Používáme kvarc vysoké čistoty nebo speciální keramiku – protože „uvolňování plynů“ představuje velký problém. Pokud vaše ohřívače uvolní i jen pár drobných částic, váš čip bude zničen.
Ale musíte také dávat pozor na výkon. Vysoce výkonné infračervené lampy rychle zvyšují teplotu, ale pokud nebudete opatrní, mohou vzniknout lokální místa s vysokou teplotou. Musíte tedy vyvážit výkon s termickou hmotností substrátu. Pokud to uděláte špatně, silikon se zkřiví.
Výhody
Přechod na infračervené ohřívače znamená, že můžete opustit metody ohřevu na bázi rozpouštědel a snížit energetickou spotřebu vaší čistírny. Navíc je to nejlepší způsob, jak dosáhnout přesných teplotních profilů potřebných pro ekologicky šetrné polymery a lepidla bez halogenů.
Existuje však jeden problém. Připojení těchto zařízení do vakuumové komory vyžaduje velmi specifické prvky. Pokud nejsou uzávěry dokonalé, dojde k úniku vzduchu a lampa se oxiduje a shoří.
Je to kompromis. Dostanete neuvěřitelnou rychlost a čistotu, ale integrita vakua musí být bezchybná, abyste mohli lampy používat.