V provozu výroby je tepelná odchylka během zahřívání fotorezisty velkým problémem – snižuje to efektivitu výroby. Pokud není proces zahřívání rovnoměrný, začnou se měnit šířky linií. Nekonzistentní zahřívání? To zase vede ke vzniku nečistot a zbytků. Vytvořili jsme keramickou infračervenou topnou desku, která eliminuje tyto odchylky a zajišťuje stabilní teplotu bez jakýchkoli problémů.
Co je důležité uvnitř desky
Deska ohřívá pomocí záření, nikoli konvekce, a to pomocí krátkovlnných infračervených prvků uložených v keramice. Do dosažení požadované teploty uplyne méně než 2 sekundy. RoVnoměrnost teploty na povrchu čipu je ±0,1 °C v celé aktivní oblasti. Opakovatelnost je ±0,5 °C mezi jednotlivými sériemi výroby – takže teplotní rozsah zůstává stabilní. Povrch desky je navržen tak, aby neuvolňoval žádné částice, což umožňuje použití v prostorách s kvalitou čistoty 1–100. Materiály odolávají agresivním čisticím prostředkům bez uvolňování plynů. Z hlediska elektrických vlastností splňuje deska standardy pro polovodičové zařízení – má nízké úrovně EMI a pevné izolace.
Proč je to důležité v litografii
V litografii a zpracování fotorezistu se tato přesnost projevuje v lepší kontrole kritických rozměrů a menším počtu oprav. Profily zahřívání zůstávají konzistentní, takže se nevyskytují nežádoucí částice. Stabilní zahřívání zvyšuje přilnavost materiálů a snižuje vznik nečistot. Rychlá reakce desky zkracuje dobu mezi jednotlivými fázemi zahřívání, čímž se zvyšuje produktivita bez zvyšování spotřeby energie. Deska funguje 24/7 s minimální údržbou – bez selhání vlákna ani nadměrného ohřevu – takže doba neplánovaného výpadku je nulová. Jako alternativa k importovaným topným deskám se hodí do stávajících zařízení a umožňuje zachování kvality procesu při současném snížení nákladů na náhradní díly.
Poznámky k použití
Při instalaci je potřeba zajistit shodu s mechanickými parametry zařízení a typem konektorů. Je nutné ověřit tolerance zarovnání – to zajišťuje rovnoměrnost teploty tam, kde je potřeba. Deska funguje nejlépe při stabilní napětí – velké výkyvy mohou ovlivnit přesnost teploty. Proto je rozumné použít lokální regulátor napětí. Je potřeba provést krátké testy, abychom zjistili rozložení teploty po celém povrchu čipu a stanovili správné parametry.