V provozu továrny není proces vypalování fotorezistu „pauzou“ – jedná se o povinný krok v procesu výroby. Pokud se teplota na horké desce mění, ovlivňuje to i kontrolu rovnosti teploty na celém waferu. V technologiích MEMS je termální rozpočet velmi omezený, takže chyby v teplotě nemohou zůstat dlouho beze změny.
Co je z hlediska technologie důležité:
Vytvořili jsme tento infračervený ohřívač proto, abychom zajistili správnou termickou kontrolu v technologiích MEMS: krátkovlnné IR záření pro rychlou reakci, karbid-kaliové prvky pro stabilní výstupní teplotu, a také konstrukce s uzavřeným obvodem, která zajišťuje rovnost teploty na celém waferu v rozsahu ±0,1 °C. Ohřívací oblast je navržena tak, aby mohla fungovat v čistých prostorách třídy 1–100. Použité materiály a povrchové úpravy jsou vybrány tak, aby se minimalizovala tvorba částic a odpařování látek. Hlavním cílem je opakovatelnost – každé vypalování, každá série výrobků, každý den.
Proč to odpovídá procesu výroby v MEMS:
V technologiích MEMS se používají jak měkké, tak tvrdé metody vypalování, přičemž rozdíly mezi nimi jsou velmi malé. Tento ohřívač poskytuje stejný teplotní profil znovu a znovu, takže funkce na waferu se vyvíjejí konzistentně. Rychlé zvyšování teploty zkracuje dobu vypalování, aniž by došlo ke snížení rovnosti teploty na celém waferu.
Spotřeba energie klesá, protože ohříváme pouze cílovou oblast, nikoli celou desku. Spolehlivost se projevuje v nepřerušované produkci – v průběhu kontinuální výroby nejsou žádné neplánované přerušení, údržba je předvídatelná – bez překvapení a nouzových situací.
Na co je potřeba se připravit:
Instalace spočívá v přizpůsobení rozhraní nástroje a ověření napětí a chlazení – obvykle 240 V a samostatná linka pro vzduchové nebo vodní chlazení. Ohřívač se integruje s běžnými litografickými zařízeními, ale je potřeba zajistit volnou optickou cestu – jakákoli překážka může změnit termální profil.
Připravte si prostor v čisté místnosti již předem. Úzké prostory vyžadují správnou velikost a přístup k servisu. Pokud to zvládnete správně, otevře se prostor pro efektivní výrobu – potom už stačí pouze data z specifikací.