Správné sušení waferů s technologií infračerveného záření
Pokud budujete moderní výrobní provoz, víte, že vše musí být řízeno na základě dat. Ale pokud jde o sušení waferů s senzory typu MEMS, je stejně důležitý samotný hardware jako software. Proto jsme se vzdali těch starých konvekčních pecí a přešli na systémy s krátkovlnným infračerveným zářením.
Je to prostě rychlejší. Navíc to zabrání proniknutí chemikálií dovnitř a poškození vašich produktů.
Zvládání tepla
Pro senzory typu MEMS je obtížné rychle odstranit vlhkost, aniž by došlo k poškození waferu. Nemůžete prostě použít velké množství tepla a doufat v to nejlepší.
Používáme vysokovýkonové křemíkové lampy, abychom dosáhli správné hustoty tepla tam, kde je to potřeba. Pomocí úpravy napětí a frekvence lze měnit intenzitu tepla v reálném čase. Ať už pracujete s tenčími wafery nebo s komplikovanou geometrií senzorů, systém se přizpůsobí.
Jelikož je doba reakce téměř okamžitá, může váš PLC upravovat intenzitu tepla na základě aktuálních informací. Právě tak by měl fungovat moderní digitální výrobní provoz.
Specifikace hardwaru
Pro topiče používáme křemíkové trubice vysoké čistoty. Proč? Protože poslední věc, kterou chcete, je, aby se vedle vašich waferů vyskytovaly nějaké škodlivé látky.
Tyto lampy umisťujeme do skupin, aby teplota působila rovnoměrně na celý povrch waferu. Používáme také speciální konektory. Věřte mi, nechcete, aby se součásti uvolňovaly, když stroje začnou vibrovat.
Ale existuje jeden problém: vysoká intenzita infračerveného záření způsobuje velké teplo. Wafery se sice rychle vysuší, ale okolní části zařízení jsou silně zasaženy teplem. Budete muset pečlivě navrhnout systémy chlazení, jinak vaše řídicí elektronika bude poškozena.
Udělat z toho „chytré“ řešení
V digitálním výrobním provozu musí každá součást сообщovat o svém stavu. Naše systémy s infračerveným zářením se připojují přímo do vaší SCADA soustavy.
Můžete vidět, kdy začínají lampy slábnout, nebo přesně zjistit, kolik energie spotřebovává každý wafer. To znamená, že nemusíte dodržovat rigidní kalendář údržby – můžete opravovat věci právě v okamžiku, kdy to je potřeba.
Když začne lampa selhávat, systém to okamžitě signalizuje. Můžete vyměnit součást ještě předtím, než se sníží výtěžnost výroby. To je opravdová výhoda řízení na základě dat.