http://ir-quartz-heater.com/zh/tags/tsv/ Recent content in TSV on Infrared Quartz Heating Systems Hugo zh Wed, 24 Jun 2026 01:17:22 +0800 http://ir-quartz-heater.com/zh/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ Wed, 24 Jun 2026 01:17:22 +0800 http://ir-quartz-heater.com/zh/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="TSV 硅穿通电极 加热器"></p> <p>在晶圆加工过程中，如果在晶圆干燥或光刻胶烘烤阶段出现温度波动，那不仅会导致生产中断，还会在晶圆上留下缺陷。这些缺陷在电气测试时才会显现出来，到那时再处理就为时已晚了。TSV加热器的作用就是从源头防止这种温度波动，确保每个加热步骤都处于可控状态。</p>