http://ir-quartz-heater.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Infrared Quartz Heating Systems Hugo zh Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>利用红外线技术正确干燥MEMS晶圆<br> 如果您正在<a href="https://goldisgood.com">建设智能工</a>厂，那么您一定知道：一切都需要以数据为驱动。不过，在干燥MEMS传感器晶圆时，硬件的重要性与软件同样重要。正因如此，我们放弃了传统的对流式烘箱，转而使用短波红外线系统。<br> 这种方式效率更高，同时还能防止化学物质侵入，从而避免损坏晶圆。</p> <p><strong>控制热量</strong><br> 对于MEMS晶圆来说，关键在于如何快速去除水分，同时又不给晶圆带来过大压力。不能简单地用高温来处<a href="https://henruite.com">理晶圆</a>，那样做只会适得其反。<br> 我们使用高功率石英灯，将热量精确地施加在需要的位置。通过调整电压和工作时间，可以实时改变热强度。无论处理的是较薄的晶圆还是结构复杂的传感器，该系统都能灵活应对。<br> 由于响应时间极快，PLC可以根据实时反馈来调节热量。这正是现代数字化工厂应有的运作方式。</p> http://ir-quartz-heater.com/zh/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 21 Jun 2026 02:41:14 +0800 http://ir-quartz-heater.com/zh/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS制造用红外加热器"></p> <p>在生产车间里，光刻胶的烘干过程并非可以暂停的操作，而是一项必须完成的工序。如果加热板的位置出现偏差，那么光盘的形状控制也会受到影响。一旦温度分布不均匀，整个晶圆的良率就会下降。在MEMS制造中，对温度的控制要求极为严格，因为温度误差很容易持续存在。</p>