http://ir-quartz-heater.com/uk/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Quartz Heating Systems Hugo uk Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/uk/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/uk/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Нагрівач для сушіння пластин сенсорів MEMS"></p> <p>Як правильно сушити пластини MEMS за допомогою інфрачервоного випромінювання<br> Якщо ви будуєте сучасний завод з виробництва чіпів, ви знаєте основні принципи: все має керуватися даними. Але коли йдеться про сушіння пластин сенсорів MEMS, як апаратне обладнання, так і програмне забезпечення мають однакову важливість. Саме тому ми відмовилися від старомодних конвективних печей та перейшли на системи короткохвильового інфрачервоного випромінювання.</p> <p>Це просто швидше. Крім того, це запобігає потраплянню хімікатів на пластини та їх пошкодженню.</p> <p><strong>Керування теплом</strong><br> Проблема при роботі з пластинами MEMS полягає у швидкому видаленні вологи без пошкодження самої пластини. Не можна просто нагрівати її, сподіваючись на кращий результат.</p> http://ir-quartz-heater.com/uk/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 21 Jun 2026 02:41:14 +0800 http://ir-quartz-heater.com/uk/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Виготовлення MEMS пристроїв для інфрачервоного нагріву"></p> <p>На виробничій лінії процес випалювання фоточутливого шару не є просто „паузою“. Це сувора вимога. Якщо температура на нагрівальній платформі змінюється, це впливає на контроль параметрів диска. Якщо однорідність параметрів порушується, це призводить до зниження якості продукту. У технологіях MEMS температурний режим є дуже важливим – помилки температури не можуть залишатися незначними протягом тривалого часу.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми створили цей інфрачервоний нагрівач для забезпечення точного контролю температури в технологіях MEMS: короткохвильове ІЧ-випромінювання для швидкої реакції, кварцово-галогенні елементи для стабільної роботи, а також система з закритим циклом, яка забезпечує однорідність параметрів на рівні ±0,1°C. Нагрівальна зона розроблена для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали та облицювання обрані так, щоб уникнути утворення частинок та витоку газів. Головне – це можливість повторюваності процесу: кожен цикл випалювання, кожна партія продукції, кожен день.</p>