http://ir-quartz-heater.com/tr/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Quartz Heating Systems Hugo tr Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/tr/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/tr/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS sensör yongalarını kurutmak için kullanılan ısıtıcı"></p> <p><strong>İnfrakırmızı Işınlarla MEMS Waflarını Doğru Şekilde Kurutma</strong><br> Eğer akıllı bir üretim tesisleri kuruyorsanız, her şeyin verilerle yönetilmesi gerektiğini biliyorsunuz. Ancak MEMS sensör waflarını kurutmaya gelince, yazılım <a href="https://o-yate.net">kadar</a> donanım da önemlidir. Bu yüzden eski tip konveksiyon fırınları yerine kısa dalga uzunluğuna sahip infrakırmızı sistemler kullanıyoruz.</p> <p>Bu yöntem daha hızlıdır ve kimyasalların waflara zarar <a href="https://o-yate.com">vermesini</a> engeller.</p> <p><strong>Isının Kontrolü</strong><br> MEMS teknolojisindeki zorluk, waflar üzerindeki nemin hızlıca giderilmesidir; ancak bu işlem sırasında waflara zarar verilmemesi gerekiyor. Sadece ısı uygulayıp en <a href="https://henruite.com">iyisini</a> ummak yeterli değildir.</p> http://ir-quartz-heater.com/tr/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 21 Jun 2026 02:41:13 +0800 http://ir-quartz-heater.com/tr/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS üretimi için kızılötesi ısıtıcı"></p> <p>Üretim alanında, fotoresistin ısıtılması bir “duraklama” değildir; bu, zorunlu bir adımdır. Eğer sıcak plaka yerinden oynarsa, CD kontrolü de bununla birlikte değişir. Eğer eşitlik sağlanamazsa, wafere yayılan hatalar artar. MEMS’te termal denge çok hassastır ve sıcaklık hatası uzun süre küçük kalmaz.</p> <p><strong>Teknik olarak önemli olanlar</strong> MEMS’in termal kontrolünü sağlamak için bu kızılötesi ısıtıcıyı geliştirdik: Hızlı tepki vermesi için kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanılır; istikrarlı çıkış için ise kuvars-halojen elemanlar tercih edilir. Ayrıca, wafernin her noktasında ±0,1°C içinde eşitlik sağ<a href="https://o-yate.com">layacak</a> şekilde kapalı döngülü bir tasarım kullanılır. Isıtma bölgesi, 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışacak şekilde tasarlanmıştır; malzemeler ve yüzey işlemleri, parça oluşumunu sıfıra indirmek ve gaz salınımını engellemek amacıyla seçilmiştir. Önemli olan tekrarlanabilirliktedir; her ısıtma işlemi, her parti, her gün aynı sonucu vermelidir.</p>