Лампа с двумя трубками и золотым покрытием

Thu, 23 Jul 2026 09:34:26 +0800

Сокращение выбросов углерода на производстве с помощью инфракрасных ламп с золотым покрытием
Если вы хотите снизить объем выбросов углерода при производстве полупроводников, необходимо начать с контроля температуры. Именно здесь теряется больше всего энергии.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы с двумя трубками и золотым покрытием. Это не обычные нагреватели – скорее, это точные инструменты, которые направляют энергию прямо на поверхность подложки. Таким образом не тратится время и энергия на нагрев всей камеры ради достижения правильной температуры пластины.

Двойная трубка инфракрасной нагревательной лампы

Sun, 07 Jun 2026 01:34:09 +0800

На литографическом участке отклонение температуры прожарки фоторезиста на 0,5°C — это ошибка, из-за которой целый поддон может быть списан, прежде чем вы вообще поймёте, что это произошло. Необходимо обеспечение температуры именно там, где указано в технологической карте, — каждый раз — без добавления частиц и без внесения вариативности.

Что имеет техническое значение

Мы разработали инфракрасную лампу с двумя трубками, основанную на элементах коротковолнового ближнего ИК-диапазона и кварцевых компонентах, выбранных для быстрого направленного нагрева с минимальной тепловой инерцией. Основное техническое требование — однородность температуры по зоне обработки: ±0,1°C, измеряемая и поддерживаемая в системе с замкнутым контуром управления.
Она готова для эксплуатации в чистых помещениях классов 1–100 благодаря подбору материалов и сборке, минимизирующим генерацию частиц практически до нуля. В повседневной работе это означает стабильные профили мягкой и твердой прожарки — неизменные в сменах, партиях и по мере износа лампы.

Трубка on Infrared Quartz Heating Systems

Лампа с двумя трубками и золотым покрытием

Двойная трубка инфракрасной нагревательной лампы

Что имеет техническое значение