http://ir-quartz-heater.com/ru/tags/%D0%BC%D1%8D%D0%BC%D1%81/ Recent content in МЭМС on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ru Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ru/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ru/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS"></p> <p>Как правильно высушивать пластины с чипами MEMS с использованием инфракрасного излучения<br> Если вы строите современный завод по производству электроники, вы знаете, что все должно управляться с помощью данных. Но при высушивании пластин с чипами MEMS важна не только программа, но и само оборудование. Поэтому мы отказались от старых конвекционных печей и перешли на системы с коротковолновым инфракрасным излучением.</p> <p>Это делает процесс более быстрым. К тому же это предотвращает проникновение химических веществ внутрь пластин, что может повредить их.</p> http://ir-quartz-heater.com/ru/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 21 Jun 2026 02:41:13 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ru/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Производство МЭМ устройств с инфракрасным нагревателем"></p> <p>На производственном участке процесс обжига фоторезиста не является просто временной паузой в работе оборудования. Это жестко заданный этап процесса. Если температура на нагревательной плате изменяется, это влияет на качество изготовления дисков. Если степень однородности температуры недостаточна, это сказывается на качестве готовой продукции. В технологии MEMS температурный режим очень строго контролируется, поскольку малейшие ошибки в температуре могут иметь серьезные последствия.</p> <p><strong>Что имеет значение с технической точки зрения</strong> Мы разработали этот инфракрасный нагреватель для обеспечения точного контроля температуры в процессе производства MEMS-устройств: использование коротковолнового инфракрасного излучения для быстрого достижения нужной температуры, кварцево-галогеновые элементы для стабильной работы нагревателя, а также система замкнутого цикла, направленная на поддержание однородности температуры на уровне ±0,1°C. Нагреватель предназначен для использования в чистых комнатах класса 1–100; материалы и поверхности, из которых он сделан, выбраны таким образом, чтобы исключить возникновение частиц и выделение газов. Главное — повторяемость процесса: при каждом обжиге, в каждой партии продукции, каждый день.</p>