Aquecedor de infravermelho para secagem de wafers

Mon, 01 Jun 2026 00:03:22 +0800

A tampa do secador por centrifugação desce, e a pastilha se acomoda em um espaço controlado onde o último resíduo de água de enxágue precisa sair completamente — sem manchas, sem marcas, sem partículas. Em uma linha de 300 mm, a janela de temperatura durante a secagem é tão estreita que se mede em milidegrees de dígito único. Um desvio de algumas décimas de grau pode afinar o fotoresiste na borda, alterar o viés de CD ou deixar uma marca d’água que se transforma em defeito após a litografia.
Os aquecedores infravermelhos para secagem de pastilhas não são apenas fontes de calor. São elementos térmicos do processo que precisam funcionar como uma extensão da câmara — repetíveis, limpos e previsíveis. No processamento de fotoresiste, o soft bake e o hard bake definem a remoção de solvente, o estresse do filme e a adesão. Na secagem pós-limpeza, a uniformidade de temperatura controla a cinética da evaporação da água DI e evita a re-deposição. Se o aquecedor não cumprir seu papel, a pastilha demonstra isso.

Pastilha on Infrared Quartz Heating Systems

Aquecedor de infravermelho para secagem de wafers