Aquecedor para secagem de wafers de sensores MEMS

Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800

Secando as pastilhas MEMS com infravermelhos
Se você está construindo uma fábrica inteligente, sabe que tudo precisa ser controlado por meio de dados. Mas, no caso do secamento das pastilhas dos sensores MEMS, tanto o hardware quanto o software são importantes. Por isso, abandonamos os fornos convencionais e passamos a usar sistemas de infravermelhos de onda curta.

Isso torna o processo mais rápido. Além disso, evita que produtos químicos afetem negativamente as pastilhas.

Fabricação de MEMS para aquecedores infravermelhos

Sun, 21 Jun 2026 02:41:13 +0800

Na linha de produção, o processo de secagem do fotoresisto não é uma “pausa”. É, na verdade, uma condição essencial que precisa ser respeitada. Se a placa aquecedora se desviar um pouco, o controle da temperatura também será afetado. Se a uniformidade não for mantida, a qualidade do produto diminuirá. Em MEMS, o controle térmico é muito importante, e qualquer erro de temperatura pode causar problemas significativos.

O que é importante, do ponto de vista técnico
Criamos este aquecedor infravermelho para garantir um controle térmico preciso em MEMS: ondas infravermelhas de curta distância para resposta rápida, elementos de quartzo-halogênio para uma saída estável, e um design de circuito fechado que visa manter a uniformidade da temperatura dentro de ±0,1°C. A zona aquecida é projetada para funcionar em salas limpas de classe 1–100, com materiais e acabamentos escolhidos para evitar a geração de partículas e reduzir a emissão de gases. O objetivo é garantir a repetibilidade do processo, em cada ciclo, em cada lote, todos os dias.

MEMS on Infrared Quartz Heating Systems

Aquecedor para secagem de wafers de sensores MEMS

Fabricação de MEMS para aquecedores infravermelhos