http://ir-quartz-heater.com/pl/tags/plasterek-silikonowy/ Recent content in Plasterek Silikonowy on Infrared Quartz Heating Systems Hugo pl Mon, 01 Jun 2026 00:03:23 +0800 http://ir-quartz-heater.com/pl/posts/wafer-drying-infrared-heater/ Mon, 01 Jun 2026 00:03:23 +0800 http://ir-quartz-heater.com/pl/posts/wafer-drying-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Promiennik podczerwieni do suszenia waferów"></p> <p>Pokrywa wirówki opada, a płytka osadza się w kontrolowanej przestrzeni, gdzie ostatnia kropla wody płuczącej musi zostać usunięta – bez plam, zacieków i cząstek. Na linii 300 mm okno temperaturowe podczas suszenia jest na tyle wąskie, że mierzy się je w pojedynczych milidegreach. Dryf rzędu kilku dziesiątych stopnia może spowodować przerzedzenie fotooporu na krawędzi, przesunięcie biasu CD lub pozostawić ślad wodny, który po litografii zamienia się w defekt.<br> Podczerwone nagrzewnice suszące płytki nie są jedynie źródłami ciepła. To elementy termiczne procesu, które muszą działać jak przedłużenie komory – powtarzalnie, czysto i przewidywalnie. W obróbce fotooporu soft bake i hard bake określają usuwanie rozpuszczalnika, naprężenia filmu i adhezję. W suszeniu po czyszczeniu jednorodność temperatury kontroluje kinetykę parowania wody dejonizowanej oraz zapobiega ponownemu osadzaniu się. Jeśli nagrzewnica nie utrzyma parametrów, płytka to pokaże.</p>