http://ir-quartz-heater.com/nl/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Quartz Heating Systems Hugo nl Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/nl/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/nl/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS sensorwaferdroogheater"></p> <h1 id="het-correct-drogen-van-mems-chips-met-infraroodstraling">Het correct drogen van MEMS-chips met infraroodstraling</h1> <p>Als je een ‘Smart Fab’ opzet, weet je wat de regels zijn: alles moet worden gestuurd door gegevens. Maar wanneer het gaat om het drogen van MEMS-sensorchips, is de fysieke hardware net zo belangrijk als de software. Daarom hebben we afgezien van die ouderwetse convectiekosten en zijn we overgestapt op systemen met kortegolffrequentie-infraroodstraling.</p> <p>Het is gewoon sneller. Bovendien voorkomt dit dat chemicaliën in contact komen met de chips en deze beschadigen.</p> http://ir-quartz-heater.com/nl/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 21 Jun 2026 02:41:13 +0800 http://ir-quartz-heater.com/nl/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS fabricage infraroodverwarmer"></p> <p>Op de productielijn is het ‘bakken’ van de fotoresist geen <a href="https://henruite.com">tijdelijke</a> pauze. Het is eerder een strenge vereiste. Als de hete plaat zich verplaatst, heeft dat invloed op de controle van de temperatuur. Als de uniformiteit niet goed is, leidt dat tot problemen bij de productie van de schijven. Bij MEMS is de thermische controle erg belangrijk; fouten in de temperatuur kunnen niet lang onopgemerkt blijven.</p> <p><strong>Wat technisch gezien belangrijk is</strong><br> We hebben deze infraroodverwarmer ontworpen om de thermische controle in MEMS te verbeteren: kortegolflengte-infraroodlicht voor een snelle reactie, kwarts-halogeencomponenten voor een stabiele uitgangstemperatuur, en een gesloten bouwwijze die erop gericht is om de uniformiteit op het niveau van de schijf op ±0,1°C te houden. De hete zone is zo ontworpen dat deze kan worden <a href="https://goldisgood.com">gebruikt</a> in schone ruimtes van klasse 1–100. De materialen en afwerkingen zijn zodanig gekozen dat er geen deeltjes worden gegenereerd en dat er geen gassen vrijkomen. Het gaat hier om herhaalbaarheid: elke keer weer dezelfde resultaten, elke dag weer.</p>