http://ir-quartz-heater.com/ko/tags/%EC%95%88%EC%A0%84/ Recent content in 안전 on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ko Mon, 20 Jul 2026 09:17:20 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Mon, 20 Jul 2026 09:17:20 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="웨이퍼 가열을 위한 안전 거리"></p> <p><strong>적외선 가열 vs. 열공기 가열: 과연 어떤 방식이 웨이퍼 처리에 적합할까?</strong><br> 만약 여전히 반도체 처리에 열공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 사실상 기다리는 수밖에 없습니다.<br> 열공기 가열의 원리를 생각해보면, 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 챔버를 가열합니다. 결국 시간이 지나면 웨이퍼도 따뜻해집니다. 이는 매우 느린 과정입니다. 반면 적외선 가열은 중간 단계를 생략합니다. 전자기파를 이용해 에너지를 직접 웨이퍼 표면으로 전달하기 때문에 기다릴 필요가 없습니다.</p>