http://ir-quartz-heater.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ja Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター"></p> <p>赤外線を活用してMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法<br> スマートファブを構築する際には、すべてがデータによって制御される必要があります。しかし、MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる場合、ソフトウェアと同じくらいハードウェアも重要です。そのため、私たちは従来の対流式オーブンではなく、短波長の赤外線システムを採用しました。</p> http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 21 Jun 2026 02:41:13 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS製造用赤外線ヒーター"></p> <p>製造現場において、フォトレジストの焼成処理は「一時停止」というわけではありません。それは厳格な制約事項です。もしホットプレートの位置がずれると、CDの精度も<a href="https://o-yate.com">低下</a>してしまいます。均一性が保てなければ、ウェーハ全体の歩留まりが悪くなってしまいます。MEMSの場合、熱管理は非常に重要であり、温度の誤差が長時間続くことはありません。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong><br> 私たちは、MEMSの熱管理を正確に行うためにこの赤外線ヒーターを開発しました。高速応答のために短波長のIRを使用し、安定した<a href="https://henruite.com">出力</a>のために<a href="https://o-yate.net">石英</a>・ハロゲン要素を採用しています。また、ウェーハ全体の均一性を±0.1℃以内に保つために、ループ制御方式が採用されています。ホットゾーンはクラス1～100の清浄室環境で動作するように設計されており、粒子の発生やガスの放出を防ぐために適切な材料や仕上げが施されています。重要なのは再現性です。毎回の焼成処理、各ロット、毎日にわたって一貫した結果が得られる必要があります。</p>