http://ir-quartz-heater.com/ja/tags/%E5%B7%A5%E6%A5%AD/ Recent content in 工業 on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 03:37:24 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/industrial-fab-heater-replacement/ Fri, 03 Jul 2026 03:37:24 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/industrial-fab-heater-replacement/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="工業用ファブヒーターの交換"></p> <p>実際には、温度の変動というのは単なる理論上の問題ではありません。それは、製品の品質に直結する問題です。もし、焼成時の温度が0.5度でもずれてしまうと、フォトレジストの厚さやCD精度が狂ってしまいます。また、焼成温度が高すぎると、応力が生じ、ウェハの端にスケールが付着してしまいます。ヒーターの性能が低下すると、装置は停止し、処理が遅れます。このような計画外の<a href="https://goldisgood.com">停止時間</a>は、工場全体にとって大きな損失となります。</p>