http://ir-quartz-heater.com/ja/tags/%E5%87%A6%E7%90%86/ Recent content in 処理 on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ja Sat, 20 Jun 2026 02:24:05 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/glass-wafer-processing-infrared-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:24:05 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/glass-wafer-processing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ガラスウェーハ処理用赤外線ランプ"></p> <p>ガラスウェーハの場合、シリコンとは性質が異なります。ガラスウェーハは透明であり、熱容量も低く、温度勾配に対して非常に敏感です。もし高温領域がわずかにずれてしまうと、フォトレジストの形状が崩れ、CDの精度が悪化し、ロット全体の品質が低下してしまいます。そこで、ガラス加工用に設計された赤外線ランプが役立ちます。これにより、熱を必要な場所にだけ送ることができます。</p>