http://ir-quartz-heater.com/ja/tags/%E3%83%91%E3%83%8D%E3%83%AB/ Recent content in パネル on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ja Wed, 01 Jul 2026 07:21:39 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ Wed, 01 Jul 2026 07:21:39 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="セラミック赤外線ヒーターパネル"></p> <p>ファブの<a href="https://henruite.com">現場</a>では、フォトレジストを焼成する際の熱的なばらつきが、歩留まりを悪化させる要因となります。ソフトベイクが均一でないと、線幅にばらつきが生じます。ハードベイクも不安定だと、スクラムや残留物が発生します。そうした問題を解決するために、当社はセラミック製の赤外線ヒーターパネルを開発しました。これにより、設定温度に正確に到達し、オーバーシュートや遅れもありません。</p> <p><strong>内部で重要なのは何か</strong> このヒーターは対流ではなく、放射によって加熱されます。セラミックで覆われた短波長の赤外線素子を使用しているため、2秒未満で設定温度に到達し、ウェーハ全面の温度ばらつきは±0.1℃程度です。バッチ間の再現性は±0.5℃で、安定した温度管理が可能です。表面は粒子が出ないように設計されており、クリーンルームのクラス1～100に適しています。また、強力な洗浄剤にも耐えられ、ガス放出もありません。電気的にも、半導体装置の基準を満たしており、EMIが少なく、絶縁性能も優れています。</p> http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/panel-heater/ Sun, 28 Jun 2026 01:48:37 +0800 http://ir-quartz-heater.com/ja/posts/panel-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/d61d5d3f5d5504e3739a5264feecd2f1.png" alt="パネルヒーター"></p> <p>寒い夜には、快適さは単なる特典ではありません。それは、外にい続けるか、家の中に戻るかの違いを意味します。だからこそ、私たちは工場ですべての赤外線ヒーターをフルパワーでテストします。サンプル検査も、手抜きもしません。すべての製品をフル負荷で動作させて、早期の故障を<a href="https://henruite.com">発見</a>し、部品の性能を確認し、最終的にお客様の庭やワークショップ、リビングルームに届ける前に問題がないかを確認します。</p>