ウェーハ乾燥炉の加熱素子

Tue, 07 Jul 2026 00:47:25 +0800

はじめに

さっそく本題に入りましょう。私たちが開発したのは、ウエハ乾燥用の赤外線ヒーターです。とてもシンプルな製品です。その目的というのは、高価な海外ブランドの製品に頼らずに、効果的で純粋な熱を供給することです。
これは、簡単に交換可能な設計です。複雑な取り付け作業をせずに、信頼性の高い熱出力が得られるように設計されています。

内部構造

ウエハ乾燥においては、迅速に熱が必要です。そのため、このヒーターはそのニーズに合わせて設計されています。
これは400Vの高電圧設計で、300mmの筒状の形状に2500Wの出力が込められています。狭いスペースで大きな熱量を生み出すことができるので、迅速に所定の温度に到達できます。
ただし、この高い出力を利用するためには、オーブンの冷却機能や空気の流れが適切である必要があります。計画を立てる際には、その点を考慮してください。
また、300mmという長さも偶然ではありません。標準的なオーブンの内部に簡単に収まるように設計されているので、オーブン全体を再設計する必要はありません。熱が最も必要な場所に直接配置されます。

ウエハー on Infrared Quartz Heating Systems

ウェーハ乾燥炉の加熱素子

はじめに

内部構造