Riscaldatore per essiccazione di wafer dei sensori MEMS

Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800

Asciugatura corretta delle lastre MEMS tramite raggi infrarossi
Se state costruendo una fabbrica intelligente, sapete bene che tutto deve essere gestito tramite dati. Tuttavia, per quanto riguarda l’asciugatura delle lastre dei sensori MEMS, anche l’hardware è altrettanto importante del software. Ecco perché abbiamo abbandonato gli antichi forni a convezione e passato a sistemi a raggi infrarossi a breve lunghezza d’onda.

È semplicemente più veloce. Inoltre, questo metodo evita che i prodotti chimici influenzino negativamente il processo di asciugatura.

Produttore di riscaldatori a infrarossi in MEMS

Sun, 21 Jun 2026 02:41:13 +0800

Nelle linee di produzione, la fase di essiccazione del fotorestist non rappresenta una “pausa” nel processo di produzione: è piuttosto una condizione obbligatoria da rispettare. Se la piattaforma riscaldata si sposta, anche il controllo della qualità dei chip ne risente. Se l’uniformità non è garantita, la qualità dei prodotti ne risente negativamente. Nei sistemi MEMS, il bilancio termico è molto preciso e delicato: gli errori di temperatura non possono persistere a lungo.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Abbiamo progettato questo riscaldatore a infrarossi per assicurare un controllo termico preciso nei sistemi MEMS: onde infrarosse a breve lunghezza d’onda per una risposta rapida, elementi in quarzo-alogeni per un output stabile, e un sistema di controllo a circuito chiuso finalizzato a garantire un’uniformità della temperatura entro ±0,1°C. La zona riscaldata è progettata per funzionare in ambienti puliti di classe 1–100; i materiali utilizzati sono scelti per eliminare qualsiasi generazione di particelle e per evitare emissioni di gas. L’obiettivo è la ripetibilità: ogni ciclo di essiccazione deve dare risultati coerenti, ogni giorno.

MEMS on Infrared Quartz Heating Systems

Riscaldatore per essiccazione di wafer dei sensori MEMS

Produttore di riscaldatori a infrarossi in MEMS