http://ir-quartz-heater.com/hi/tags/%E0%A4%8F%E0%A4%AE%E0%A4%88%E0%A4%8F%E0%A4%AE%E0%A4%8F%E0%A4%B8/ Recent content in एमईएमएस on Infrared Quartz Heating Systems Hugo hi Sun, 21 Jun 2026 02:41:14 +0800 http://ir-quartz-heater.com/hi/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 21 Jun 2026 02:41:14 +0800 http://ir-quartz-heater.com/hi/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="मेम्स निर्माण हेतु इन्फ्रारेड हीटर"></p> <p>फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया कोई “विराम” नहीं है… बल्कि यह एक अनिवार्य प्रक्रिया है। यदि हॉट प्लेट में कोई विचलन होता है, तो सीडी नियंत्रण भी प्रभावित हो जाता है। यदि तापमान में असमानता होती है, तो वेफर पर उत्पादन में कमी आ जाती है। MEMS में तापीय नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है… तापमान संबंधी त्रुटियाँ लंबे समय तक बनी नहीं रह सकतीं।</p> <p><strong>तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?</strong><br> हमने इस इन्फ्रारेड हीटर को MEMS के तापीय नियंत्रण हेतु विकसित किया है… शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग तेज़ प्रतिक्रिया हेतु किया गया है; क्वार्ट्ज-हैलोजन तत्वों का उपयोग स्थिर आउटपुट हेतु किया गया है। इसका डिज़ाइन ऐसा है कि वेफर पर तापमान स्थिर रहे… ±0.1°C के भीतर। हॉट ज़ोन को क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही रखा जाता है… ऐसी सामग्रियों का उपयोग किया गया है जिससे कणों का निर्माण न हो, एवं गैसों का उत्सर्जन भी न हो। महत्वपूर्ण बात तो यह है कि हर बार, हर लॉट में, हर दिन एक ही तरह का परिणाम प्राप्त हो।</p>