http://ir-quartz-heater.com/he/tags/%D7%95%D7%95%D7%99%D7%99%D7%A4%D7%A8/ Recent content in ווייפר on Infrared Quartz Heating Systems Hugo he Mon, 01 Jun 2026 00:03:24 +0800 http://ir-quartz-heater.com/he/posts/wafer-drying-infrared-heater/ Mon, 01 Jun 2026 00:03:24 +0800 http://ir-quartz-heater.com/he/posts/wafer-drying-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="גוף חימום אינפרא אדום לייבוש וופרים"></p> <p>מכסה מייבש הספין נופל, והוופרה מתמקמת במרחב מבוקר שבו יש להסיר את שאריות מי ההדחה באופן נקי – ללא כתמים, ללא סימנים, ללא חלקיקים. בקו של 300 mm, טווח הטמפרטורה במהלך הייבוש כל כך מדויק שנמדד במילידירגות בודדות. סטייה של כמה עשיריות מעלה או מטה עלולה לדלל את הפוטורזיסט בקצה, להזיז את ה-CD bias או להשאיר סימן מים שמסבך את התהליך בהמשך הליתוגרפיה.</p> <p>מחממי אינפרא-אדום לייבוש וופרות אינם רק מקורות חום. הם רכיבי תהליך תרמיים שחייבים לפעול כהמשך של התא – מדויקים, נקיים וניתנים לחיזוי. בעיבוד פוטורזיסט, בייק רך ובייק קשה מגדירים את הסרת הממס, מתח הסרט וההיצמדות. בייבוש לאחר ניקוי, אחידות הטמפרטורה שולטת בקינטיקה של אידוי מים DI ומונעת המשקעות חוזרות. אם המחמם לא שומר על יציבות, הוופרה תראה זאת.</p>