http://ir-quartz-heater.com/fr/tags/plaquette/ Recent content in Plaquette on Infrared Quartz Heating Systems Hugo fr Mon, 01 Jun 2026 00:03:23 +0800 http://ir-quartz-heater.com/fr/posts/wafer-drying-infrared-heater/ Mon, 01 Jun 2026 00:03:23 +0800 http://ir-quartz-heater.com/fr/posts/wafer-drying-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Chauffage infrarouge pour séchage de plaquettes"></p> <p>Le couvercle de l’essoreuse s’abaisse, et la plaquette se positionne dans un espace contrôlé où la dernière goutte d’eau de rinçage doit s’éliminer proprement—sans taches, sans traces, sans particules. Sur une ligne de 300 mm, la fenêtre thermique pendant le séchage est suffisamment étroite pour se mesurer en millidegrés à un chiffre. Une dérive de quelques dixièmes de degré peut amincir le photoresist en bordure, décaler le biais CD ou laisser une marque d’eau qui se transformera en défaut après la lithographie.<br> Les chauffages infrarouges pour le séchage des plaquettes ne sont pas de simples sources de chaleur. Ce sont des éléments du procédé thermique qui doivent se <a href="https://o-yate.com">comporter</a> comme une extension de la chambre—répétables, propres et prévisibles. Dans le traitement du photoresist, le soft bake et le hard bake fixent l’élimination des solvants, les contraintes du film et l’adhérence. Lors du séchage post-nettoyage, l’uniformité de température contrôle la cinétique de l’évaporation de l’eau DI et empêche la redéposition. Si le chauffage ne tient pas ses performances, la plaquette le montre.</p>