http://ir-quartz-heater.com/fa/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Quartz Heating Systems Hugo fa Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/fa/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800 http://ir-quartz-heater.com/fa/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="گرمکن خشککن ویفر سنسور MEMS"></p> <h1 id="خشک-کردن-ویفرهای-mems-با-استفاده-از-موجهای-مادون-قرمز">خشک کردن ویفرهای MEMS با استفاده از موج‌های مادون قرمز</h1> <p>اگر در حال ساخت یک کارخانه هوشمند هستید، می‌دانید که همه چیز باید تحت کنترل داده‌ها انجام شود. اما در مورد خشک کردن ویفرهای حسگرهای MEMS، سخت‌افزار نیز به همان اندازه نرم‌افزار اهمیت دارد. به همین دلیل، ما از فرآیندهای خشک کردن سنتی استفاده نکرده و به سیستم‌های مبتنی بر موج‌های مادون قرمز روی آورده‌ایم.</p> <p>این روش سریع‌تر است؛ همچنین از ورود مواد شیمیایی به ویفرها جلوگیری می‌کند.</p> http://ir-quartz-heater.com/fa/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 21 Jun 2026 02:41:14 +0800 http://ir-quartz-heater.com/fa/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="تولید MEMS بخاری مادون قرمز"></p> <p>در کارخانه‌های تولید، فرآیند حرارت‌دهی به فیلم‌های نوری، یک توقف موقت نیست؛ بلکه یک الزام ضروری است. اگر دمای سطح گرم شود، کنترل کیفیت نیز تحت تأثیر قرار می‌گیرد. اگر یکنواختی در دما وجود نداشته باشد، کیفیت محصول نیز کاهش خواهد یافت. در فناوری MEMS، محدودیت‌های حرارتی بسیار زیاد هستند؛ خطای دمایی نیز برای مدت طولانی باقی نمی‌ماند.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:</strong><br> ما این گرمکن مادون‌قرمز را برای کنترل دقیق دمایی در فناوری MEMS طراحی کرده‌ایم؛ از امواج مادون‌قرمز برای پاسخ سریع استفاده شده، و از عناصر کوارتز-هالوژن برای تولید خروجی پایدار استفاده شده است. طراحی این گرمکن به گونه‌ای است که یکنواختی دما در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ کند. منطقه گرم شدن، در اتاق‌های پاکسازی کلاس ۱–۱۰۰ قرار دارد؛ مواد و سطوح مورد استفاده نیز به گونه‌ای انتخاب شده‌اند که تولید ذرات و خروج گازها به حداقل برسد. مهم‌ترین چیز، تکرارپذیری فرآیند است؛ یعنی هر بار که فرآیند حرارت‌دهی انجام شود، نتایج یکسان خواهد بود.</p>