http://ir-quartz-heater.com/fa/tags/%D8%A7%D8%B2-%D8%B7%D8%B1%DB%8C%D9%82/ Recent content in از طریق on Infrared Quartz Heating Systems Hugo fa Wed, 24 Jun 2026 01:17:22 +0800 http://ir-quartz-heater.com/fa/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ Wed, 24 Jun 2026 01:17:22 +0800 http://ir-quartz-heater.com/fa/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ <p><img src="http://ir-quartz-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="گرمکن TSV (مسیر از طریق سیلیکون)"></p> <p>در فرآیند خشک کردن ویفرها، اختلافات تمپراتوری ناشی از فرآیندهای مربوط به رزیست فوتوگرافی، تنها مشکلات ساده‌ای نیستند؛ بلکه باعث ایجاد نقص‌هایی می‌شوند که تا زمان آزمایش الکتریکی مشخص نمی‌شوند. در آن صورت، مجبور خواهید بود محصولات را دوباره پردازش کنید. هیترهای TSV برای جلوگیری از این اختلافات طراحی شده‌اند؛ یعنی هر مرحله تمپراتوری را با کنترل قابل پیش‌بینی، تحت کنترل نگه می‌دارند.</p> <p><strong>چه چیزی اهمیت دارد؟</strong><br> ما هیترهای TSV را به گونه‌ای طراحی می‌کنیم که تفاوت تمپراتوری در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باشد؛ زیرا فرآیندهای لیتوگرافی و بسته‌بندی نمی‌توانند تفاوت‌های زیادی را در سطح ویفر تحمل کنند. عنصر گرمایشی نیز با استانداردهای فضای کاری و منابع تغذیه‌ای سازگار است؛ بنابراین پاسخ سیستم به تغییرات دما پایدار خواهد بود. ساختار این هیترها به گونه‌ای است که مواد مورد استفاده باعث ایجاد ذرات نشوند؛ بنابراین نیازی نیست وقت خود را صرف رفع مشکلات ناشی از این هیترها کنید. عدم ایجاد ذرات، یک الزام طراحی است؛ و این موضوع در فرآیند تولید نیز بررسی می‌شود.</p>