Infrarotheizer für Vakuumkammern

Sun, 26 Jul 2026 13:45:13 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizelemente Ihre Vakuumumgebung zerstören!
Wenn Sie in einem Saal der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie die Regeln bereits. Sie haben Filter sowie spezielle Protokolle zur Sicherstellung der Reinheit – doch es gibt ein Problem, das immer wieder zu Problemen führt: die Heizelemente.
Die meisten Infrarotlampen eignen sich für grundlegende Anwendungen – doch bei hohen Temperaturen beginnen sie, Mikropartikel abzugeben oder Gase freizusetzen. Im Vakuum ist das ein Albtraum: Es gibt kein Luftstrom, der diese Stoffe wegtransportieren könnte. Alles, was von den Heizelementen abfällt, landet direkt auf dem Substrat.
Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Der Schlüssel liegt dabei im Silizium – wir verwenden eine Variante mit sehr niedrigem Gehalt an Hydroxylgruppen. Warum? Weil dadurch verhindert wird, dass der Kunststoffrohr bei hohen Temperaturen weich wird, und gleichzeitig verhindert wird, dass Unreinheiten in das Vakuum gelangen. Keine Rückstände bedeutet auch keine „unerwünschten Flecken“ auf den Wafern – alles bleibt sauber.
Aber es gibt einen Haken, wenn man im Vakuum arbeitet: Man verliert die konvektive Kühlung. Man kann sich nicht auf die Luft verlassen, um die Wärme abzuleiten.
Unsere Lampen sind so konzipiert, dass sie Energie direkt durch Strahlung an das Ziel weitergeben. Zudem haben wir die Dichtungen an den Elektrodenverbindungen verstärkt, damit nichts entweichen kann.
Ein kleiner Tipp: Achten Sie auf die Leistungsaufnahme. Wenn Sie zu viele Watt in einen kleinen Raum stecken – ohne einen geeigneten Wärmeableiter an den Wänden des Behälters – können die Vakuumdichtungen beschädigt werden. Und dann haben Sie große Probleme.
Was die Installation betrifft: Wir haben es einfach gehalten. Wir bieten verschiedene Anschlussmöglichkeiten an, sodass die Lampen problemlos eingebaut werden können.
Egal, ob Sie einen neuen Lampenanzug bauen oder nur eine defekte Lampe ersetzen – die Passform ist immer perfekt und sicher. Achten Sie außerdem auf die Spannungsstabilität. Plötzliche Spannungsspitzen können die Glühfäden schneller ruinieren, als man denkt. Halten Sie sich an die angegebene Spannung – dann halten die Lampen länger.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Fri, 10 Jul 2026 01:57:46 +0800

Warum Vakuum-Infrarotheizung für Halbleiter sinnvoll ist
Die Industrie setzt stark auf leitfreie und kohlenstoffarme Herstellungsverfahren. Auf dem Papier klingt das großartig – doch in der Praxis stellt das eine echte Herausforderung für die Personen dar, die die Maschinen bedienen.
Traditionelle Konvektionsöfen sind hier nutzlos. In einem Vakuum kann man keinen Luftstrom erzeugen – und selbst wenn es möglich wäre, würden dadurch nur Schadstoffe überallhin verteilt werden. Deshalb nutzen wir stattdessen vakuumkompatible Infrarotheizungen. Anstelle von Luft werden dabei elektromagnetische Strahlungen verwendet, um direkt auf den Substrat zu wirken. Keine Zwischenstationen – keine Unordnung.

Vakuum on Infrared Quartz Heating Systems

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer